ナノスケールの知的計測の確立を目指して(知的ナノ計測研究分科会)(<特集>専門委員会・分科会研究レビュー)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2004-08-05
著者
-
高 偉
東北大学大学院工学研究科
-
高増 潔
東京大学大学院工学系研究科
-
三好 隆志
大阪大学大学院工学研究科
-
高増 潔
東京大学大学院
-
高 偉
東北大学工学研究科
-
三好 隆志
大阪大学大学院
-
高 偉
東北大学大学院
関連論文
- 回折光干渉型XYZ3軸変位センサに関する研究
- Dual正弦波格子型サーフェスエンコーダに関する研究 : 測定原理の提案と検証実験
- 製品の幾何特性仕様(GPS)の国際標準化の動向 (特集 国際標準化)
- 変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究(第2報) : 定在波照明シフト実験による解像原理の実験的検証
- 変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究(第1報) : 解像特性の理論的検討
- 座標測定機のアーティファクト校正(第3報) : 校正後の測定の不確かさの推定
- 座標測定機のアーティファクト校正(第2報) : 冗長座標測定機の自己校正
- パラレルメカニズムを用いたマイクロフライス盤の開発 : 第1報 設計パラメータの決定と試作機の製作
- パラレルメカニズムを用いた三次元測定機の校正 : 複数のリンクセットを用いた校正
- パラレルメカニズムのアーティファクト校正(第1報) : 緩い束縛条件を用いた運動学パラメータの校正
- 座標測定機のアーティファクト校正(第1報) : 運動学パラメータの校正
- パラレルメカニズムを用いたマイクロフライス盤の開発(第2報) : 校正方法
- パラレルメカニズムを用いた三次元測定機の校正:(第3報)校正用非対称リンクセット
- パラレルメカニズムを用いたマイクロフライス盤の開発
- パラレルメカニズムを用いた三次元測定機の校正 : 設置パラメータの同定
- パラレルメカニズムを用いた三次元測定機の研究(第10報)設置パラメータの導入
- 製品の幾何特性仕様(GPS)の国際標準化の動向(国際標準化)
- 波長走査干渉計における信号処理
- 波長走査干渉計における波長掃引の校正
- 三次元測定機の幾何誤差推定とその不確かさ
- 形体計測における不確かさの見積り(第3報) : 区分多項式による直線形体の形状偏差モデル
- 形体計測における不確かさの見積り(第2報) : 円形体の計測における形状偏差の寄与
- CMM校正の不確かさに関する1考察(第4報):幾何偏差の空間的拘束の検討
- 座標比較によるCMM校正システムの開発(第2報) : 校正の信頼性の統計的な評価
- 座標比較によるCMM校正システムの開発(第1報) : 試作システムの構成とその基本的な評価
- 形体計測における不確かさの見積り(第1報) : 校正作業で生じる系統誤差の寄与
- CMM校正の不確かさに関する1考察(第3報) : 長さ測定の不確かさによる座標測定の不確かさの統計的な推定
- CMM校正の不確かさに関する1考察(第2報) : アーティファクトによる校正におけるパラメトリックエラー推定値の信頼性
- CMM校正の不確かさに関する1考察(第1報)-1次元変位測定によるパラメトリックエラー推定値の信頼性-
- S1303-1-3 変調照明シフトによる微細加工構造の超解像光学式計測法に関する研究(加工計測・評価システム(1))
- 定在エバネセント波照明による超解像イメージング
- 測長AFMを用いたマイクロパターン薄膜の厚さ精密測定
- リングビームを用いた三次元変位測定法(第2報) : リングイメージの楕円近似による非線形性の改善
- リングビームを用いた三次元変位測定法(第1報) : 理論解析と基礎実験
- 光検出システムを用いた三次元変位測定法 : 基礎実験とその評価
- nano-Probeシステムの開発(第10報) : nano-CMMに搭載しての測定実験
- nano-Probeシステムの開発(第9報):光学系の解析
- カラーパターン投影を用いた三次元形状測定
- 多価パターン投影による3次元形状測定(第9報)-投影パターンの検討-
- 多値パターン投影による三次元形状測定(第8報)-微小測定物への対応(2)-
- 多値パターン投影による3次元形状測定(第7報) -微小測定物への対応-
- Windkessel modelを用いた姿勢の違いに起因する循環器動態変化の評価
- 815 マルチプローブ型円筒形状測定機におけるプローブの最適配置
- S1303-1-2 超精密旋盤の運動誤差測定に関する研究 : スライド運動誤差測定のための回転型反転法の提案(加工計測・評価システム(1))
- 長尺円筒の中心線真直形状の超精密測定に関する研究
- 署名識別システムに関する研究 : 筆圧3分力検出用電子ペンの試作
- 現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究--低熱膨張ブロックゲージを用いた温度補正の評価
- 幾何形状測定の信頼性向上に関する研究(概要)
- 現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究--温度測定誤差を考慮した温度補正
- 計測技術高度化に関する研究(概要)
- 現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究(第2報)直角誤差補正
- 計測技術高度化に関する研究(概要)
- 現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究(第2報) : 直角誤差補正
- 現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究(第1報) : 温度ドリフトの評価および補正
- 現場環境における三次元測定機の高精度化に関する研究(第1報)温度ドリフトの評価および補正
- 現場環境における三次元測定機の高精度化に関する研究
- 計測標準高度化に関する研究(概要)
- 計測標準高度化に関する研究(概要)
- 現場環境における三次元測定機の高度化に関する研究
- 計測標準高度化に関する研究(概要)
- 計測標準高度化に関する研究(概要)
- 403 スクロールの精密測定に関する研究 : 測定システムの構築(学生賞 III,2.学術講演)
- マイクロ・メゾ・ナノスケールの三次元形状計測 (特集 三次元計測における光学と機械の融合)
- S1303-2-4 非分割型PDを用いた高感度角度センサに関する研究(加工計測・評価システム(2))
- 312 マイクロ非球面形状測定用プローブに関する研究 : シリカ球を用いたマイクロスタイラスの製作(OS-10 加工計測・評価)
- 非接触式変位センサによる精密ナノ計測制御
- 大面積3次元微細形状の高精度加工計測システム
- 光干渉型サーフェスエンコーダに関する研究
- Sawyer型平面モータの精密位置決めに関する研究 : 位置決めシステムの提案と微小位置決め実験
- 402 非球面形状測定に関する研究 : 自律校正法によるプローブ球形状の高精度化(学生賞 III,2.学術講演)
- 305 サーフェスモータステージシステム用コントローラの研究([2]計測システムと応用技術)(OS10 加工計測・評価)
- 形状測定機能をもつナノ加工プローブの研究 : 加工プローブにおける加工評価実験(G13-2 機械加工および工作機械(2),G13 生産加工・工作機械部門)
- ナノスケールの知的計測の確立を目指して(知的ナノ計測研究分科会)(専門委員会・分科会研究レビュー)
- サーフェスエンコーダによる5自由度位置・姿勢の同時計測
- 高精度長尺塗布工具のスリット幅測定に関する研究
- S1303-2-5 3次元マイクロ形状測定用スタイラスに関する研究(加工計測・評価システム(2))
- 312 小型ファストツールサーボの製作と評価
- 155 超精密加工機運動誤差の精密測定に関する研究(ロボティクス・メカトロニクス/機械力学・計測制御)
- S1303-2-3 マイクロリニアステージに関する研究(加工計測・評価システム(2))
- S1303-1-5 ダイヤモンド切削工具の精密測定に関する研究 : 光プローブによる工具エッジの位置決めに関するシミュレーション(加工計測・評価システム(1))
- 178 電磁アクチュエータによる高速工具制御(産業・化学機械と安全/生産システム/生産加工・工作機械/環境工学)
- マイクロ非球面の精密ナノ計測
- 2802 非球面形状のオンマシン測定(第 2 報) : 接触式プローブ先端球形状誤差の校正
- 2809 高精度角度センサの研究
- 角度3点法による真円度と回転誤差測定に関する研究 : 第1報 角度3点法による真円度測定
- 3217 軟組織中の異物検出用センサに関する研究
- 力センサを組み込んだ高速工具制御システムに関する研究 : —システムの設計と加工力のインプロセス計測実験—
- ローリングの超精密計測と制御に関する研究
- 幾何学量センサのその場自律校正法の研究
- 干渉顕微鏡のその場自律校正法
- 401 サーフェスエンコーダによる位置・姿勢 5 自由度検出についての研究 : 検出誤差の低減
- サーフェスモータ駆動型多自由度ステ一ジの位置決めの研究(第2報) : ステ一ジのダイナミック制御による微小位置決め実験
- サーフェスモータ駆動型多自由度ステージの位置決めの研究(第2報) : ステージのダイナミック制御による微小位置決め実験
- サーフェスモータ駆動型多自由度ステージの位置決めの研究 : 第1報サーフェスエンコーダを用いた位置検出システムの構築
- 16・8 加工計測(16.加工学・加工機器,機械工学年鑑)
- 精密工学会東北支部 近况報告(JSPEだより)
- ソフトウェアデータムによる形状の絶対測定
- 基準を作りながらの知的精密計測 (特集 : はかる)
- 鏡面形状のオン・マシン測定に関する研究 : 測定原理及びセンサの基本性能
- A Surface Encoder with Dual Sine-grids:-Proposal of the Measurement Principle and Identification Experiments-