高 偉 | 東北大学工学研究科
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概要
関連著者
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高 偉
東北大学工学研究科
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清野 慧
京都大学
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高 偉
東北大学大学院工学研究科
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清野 慧
精密測定研
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清野 慧
東北大学大学院工学研究科
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清野 慧
東北大学工学部
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高 偉
東北大
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清水 浩貴
九州工業大学工学部
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高 偉
東北大工
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清野 慧
東北大工
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清野 慧
東北大
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高 偉
東北大学大学院
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荒井 義和
東北大
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清水 浩貴
東北大学大学院工学研究科
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田野 誠
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
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清水 浩貴
東北大工
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田野 誠
東北大学大学院
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遠藤 勝幸
福島県ハイテクプラザ
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古川 勝
東北大学大学院
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古川 勝
東北大院
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出島 秀一
関西大
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清水 浩貴
東北大学大学院 工学研究科
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齋藤 悠佑
東北大学大学院
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荒木 武
(株)日立ディスプレイズ
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荒井 義和
東北大院
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渡辺 陽司
東北大学大学院
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佐藤 隼人
東北大学大学院工学研究科航空宇宙工学専攻
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冨田 良幸
住友重機械工業株式会社
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厨川 常元
東北大工
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厨川 常元
東北大学
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厨川 常元
東北大工学部
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斎藤 悠佑
東北大学
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工藤 康人
東北大院
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清水 裕樹
東北大(院)
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星野 唯
ニコン(株)
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清水 裕樹
東北大学大学院
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金井 雅也
東芝(株)
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田野 誠
東北大院
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水戸 正美
東北大
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荒井 義和
東北大学工学研究科
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大沼 孝真
東北大学大学院
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權 賢圭
東北大学大学院
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高 偉
東北大学
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清水 浩貴
東北大 大学院工学研究科
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木村 彰秀
東北大学大学院
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荒井 義和
東北大学大学院工学研究科
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鶴見 直也
東北大学大学院
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高増 潔
東京大学大学院工学系研究科
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厨川 常元
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
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三好 隆志
大阪大学大学院工学研究科
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厨川 常元
東北大学工学部機械電子工学科精密加工学講座
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宇田 豊
(株)ニコン
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高増 潔
東京大学大学院
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吉川 泰生
東北大
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高橋 和彦
(株)リョウテック
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宇田 豊
(株)ニコンcmp事業室
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三好 隆志
大阪大学大学院
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小倉 一朗
機械技術研究所
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岡 徹
東北大学大学院:(現)三菱電機(株)
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五味 誉人
東北大院
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中島 真一
東北大院
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厨川 常元
東北大 工
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元木 健順
東北大学大学院
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渋谷 篤史
東北大
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広瀬 純
交洋製作所
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田野 誠
東北大字大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
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佐々木 卓也
住友重機械工業株式会社
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竹島 雅之
東北大学
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澁谷 篤史
東北大学
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片倉 圭
東北大院
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富田 良幸
住友重工
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青木 純
東北大学反応化学研究所
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星野 唯
東北大学大学院
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安竹 睦実
(株)リョウテック
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佐藤 真路
東北大
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葛 宗涛
東北大学大学院
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青木 純
東北大院
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小山 直
東北大学大学院
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水戸 正美
東北大工
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孫 萍
東北大学大学院
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浅井 岳見
東北大
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浅井 岳見
東北大学大学院
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荒井 義和
東北大学 大学院工学研究科
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大沼 孝真
東北大院
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佐藤 栄二郎
東北大学大学院
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出島 秀一
東北大院
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冨田 良幸
住友重機械
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野村 進直
東北大学大学院
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劉 慶綱
東北大学大学院
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清野 彗
東北大学工学研究科
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佐々木 卓也
住友重機械工業 平塚研
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小山 直
東北大学工学研究科
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張 世宙
東北大学工学部
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宇田 豊
ニコン株式会社
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劉 慶綱
東北大学大学院:(現)計量研究所
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小倉 一朗
東北大学大学院工学研究科
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小岩 秀貴
東北大学工学部
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金井 雅也
東北大学大学院
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張 世宙
東北大
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出島 秀一
東北大学大学院
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矢内 宏明
東北大学大学院
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出島 秀一
東北大学工学研究科
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林 玉池
中国天津大学
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葛 宗寿
東北大学大学院:(現)東北リコー(株)
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野村 進直
東北大学大学院:(現)富士通(株)
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小岩 秀貴
東北大学工学部:(現)セイコーエプソン(株)
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荒木 武
東北大院
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葛 宗濤
東北大学大学院
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竹内 一弘
東北大学
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Patten John
西ミシガン大
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竹内 一弘
東北大学:(現)(株)東芝機械
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木村 彰秀
東北大
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野村 忠俊
東北大学工学部:(現)(株)不二越
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清水 浩貴
九州工業大学
著作論文
- Dual正弦波格子型サーフェスエンコーダに関する研究 : 測定原理の提案と検証実験
- 815 マルチプローブ型円筒形状測定機におけるプローブの最適配置
- マルチプローブ型円筒形状測定機の開発
- マルチプローブ型円筒形状測定機の開発
- マルチプローブ型円筒形状測定機の開発(第3報) : 多断面法による測定
- 403 スクロールの精密測定に関する研究 : 測定システムの構築(学生賞 III,2.学術講演)
- 長尺工具マイクロエッジ半径の高精度高速計測システムの開発
- 312 マイクロ非球面形状測定用プローブに関する研究 : シリカ球を用いたマイクロスタイラスの製作(OS-10 加工計測・評価)
- 高感度2軸マイクロ角度センサの開発
- スパイラル走査型AFMによる大面積3次元微細形状の高精度測定に関する研究
- 高速工具サーボによる大面積正弦波微細格子基準面の高精度創成 : 格子基準面ローカル領域の高精度化(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 高速工具サーボによる大面積正弦波微細格子基準面の高精度創成 : 格子基準面ローカル領域の高精度化
- 非接触式変位センサによる精密ナノ計測制御
- 大面積3次元微細形状の高精度加工計測システム
- 光干渉型サーフェスエンコーダに関する研究
- Sawyer型平面モータの精密位置決めに関する研究 : 位置決めシステムの提案と微小位置決め実験
- 402 非球面形状測定に関する研究 : 自律校正法によるプローブ球形状の高精度化(学生賞 III,2.学術講演)
- 原子間力顕微鏡による大面積3次元微細形状測定に関する研究
- 305 サーフェスモータステージシステム用コントローラの研究([2]計測システムと応用技術)(OS10 加工計測・評価)
- 303 小型角度センサに関する研究([1]高精度マイクロ幾何学量計測)(OS10 加工計測・評価)
- 形状測定機能をもつナノ加工プローブの研究 : 加工プローブにおける加工評価実験(G13-2 機械加工および工作機械(2),G13 生産加工・工作機械部門)
- 超精密非球面加工機の運動誤差測定(第2報) : 運動誤差の機上測定実験(G13-2 機械加工および工作機械(2),G13 生産加工・工作機械部門)
- ナノスケールの知的計測の確立を目指して(知的ナノ計測研究分科会)(専門委員会・分科会研究レビュー)
- ナノ計測戦略(ソフトウェア)-精密ナノ計測フロンティア
- 高精度長尺工具の精密測定に関する研究 : CDDカメラを用いたスリット幅測定
- マルチスポット光源を用いたサーフェスエンコーダの研究
- 多自由度の位置と姿勢の精密検出法の研究 : 走査型角度センサによる角度格子読取り
- 高精度長尺塗布工具のスリット幅測定に関する研究
- 516 円筒面大面積3次元微細形状の機上ナノ計測に関する研究 : センサの開発と評価実験(機械力学・計測制御)
- 312 小型ファストツールサーボの製作と評価
- 312 AFMによる大面積三次元微細形状の高精度測定に関する研究 : リニアエンコーダによる横方向精度向上(生産加工)
- 3軸角度センサに関する研究 : 測定原理の提案と検証実験
- 511 バルブスリーブの内部欠陥の迅速検査に関する研究
- マイクロ切削工具切れ刃形状の三次元測定装置に関する研究 : ―測定装置の構築と切れ刃形状測定実験―
- 310 超精密非球面加工機の運動誤差測定 : 静圧スライドテーブルの真直度及びローリング誤差測定(生産加工)
- 2802 非球面形状のオンマシン測定(第 2 報) : 接触式プローブ先端球形状誤差の校正
- 干渉計による平面形状の絶対測定法の理論的研究
- 2809 高精度角度センサの研究
- 角度3点法による真円度と回転誤差測定に関する研究 : 第1報 角度3点法による真円度測定
- 3217 軟組織中の異物検出用センサに関する研究
- SPMの高精度化手法の提案とその液中作動型AFMへの適用
- 精密移動体のローリング計測・制御
- 座標測定機の自律校正法の研究 : 第3報 不等間隔プロービングによる自律校正
- 自律的形状創成法のためのインプロセス測定プローブの開発
- 干渉顕微鏡の高さ方向誤差のその場自律校正法
- 401 サーフェスエンコーダによる位置・姿勢 5 自由度検出についての研究 : 検出誤差の低減
- サーフェスモータ駆動型多自由度ステージの位置決めの研究(第2報) : ステージのダイナミック制御による微小位置決め実験
- 自律的位置検出に関する基礎的研究
- 大面積3次元マイクロストラクチャの高精度創成と評価
- 合成法による形状測定に関する研究 : 基準領域選択の最適化と自動化
- 2次元ソフトウェアデータムによる超精密鏡面形状の絶対測定
- 311 形状測定機能をもつナノ加工プローブの研究 : 切削方向における周波数特性の向上(生産加工)
- インプロセス形状測定機能を有するマイクロ加工プローブの設計
- 2次元変位センサの自律校正法に関する研究
- 405 カーボンナノチューブを用いた高精度走査プローブ顕微鏡の研究 : 自己検知型原子間力顕微鏡の構成
- ソフトウェアデータムによる真円度測定に関する研究(第2報) : 光学式センサと真円度測定結果