清野 慧 | 東北大学大学院工学研究科
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概要
関連著者
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清野 慧
東北大学大学院工学研究科
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高 偉
東北大学大学院工学研究科
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清野 慧
京都大学
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高 偉
東北大学工学研究科
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清野 慧
東北大
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高 偉
東北大学大学院
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高 偉
東北大
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清野 慧
精密測定研
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高 偉
東北大学
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清水 浩貴
九州工業大学工学部
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清水 浩貴
東北大学大学院工学研究科
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張 世宙
東北大学大学院工学研究科
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張 世宙
東北大
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小倉 一朗
機械技術研究所
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出島 秀一
関西大
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張 世宙
東北大学
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清水 浩貴
東北大学大学院 工学研究科
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小倉 一朗
東北大(院)
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渡辺 陽司
東北大学大学院
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古川 勝
東北大学大学院
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清野 慧
東北大工
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古川 勝
東北大院
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水戸 正美
東北大
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出島 秀一
東北大学大学院
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木村 彰秀
東北大学大学院
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鶴見 直也
東北大学大学院
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三好 隆志
阪大
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冨田 良幸
住友重機械工業株式会社
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宇田 豊
(株)ニコン
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清野 慧
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス工学専攻
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宇田 豊
(株)ニコンcmp事業室
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荒井 義和
東北大
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田野 誠
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
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三井 公之
慶大理工
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田野 誠
東北大学大学院
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三井 公之
慶大
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大沼 孝真
東北大学大学院
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權 賢圭
東北大学大学院
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馬 軍山
東北大学大学院特別研究生
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水戸 正美
東北大学
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矢内 宏明
東北大学大学院
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清水 浩貴
東北大 大学院工学研究科
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桑野 博喜
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
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仲嶋 一
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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荒井 義和
東北大学大学院工学研究科
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尾股 定夫
日本大学工学部
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尾股 定夫
日大工
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尾股 定夫
日本大学
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遠藤 勝幸
福島県ハイテクプラザ
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人見 宣輝
高エネルギー加速器研究機構
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厨川 常元
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
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升谷 五郎
東北大学工学研究科航空宇宙工学専攻
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西野 洋一
:(現)旭硝子(株)
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岡 徹
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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奥山 栄樹
秋田大
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岡崎 祐一
産業技術総合研究所
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岡崎 祐一
機械技術研究所
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横山 潤
東北大学大学院生命科学研究科
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横山 潤
東北大(院)
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奥山 栄樹
秋田大学工学資源学部
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人見 宣輝
高エネ研
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吉川 泰生
東北大
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Mohr J
Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Karlsruhe Deu
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モーア ユルゲン
カールスルーエ研究センター
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高橋 和彦
(株)リョウテック
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坂 真澄
東北大学大学院
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奥山 栄樹
秋田大学 工学資源学部
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森 俊二
会津大学コンピュータ理工学部ソフトウェア学科
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坂 真澄
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス工学専攻
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井上 克己
東北大学機械システムデザイン工学専攻
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伊藤 敏夫
(株)axiom
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岡 徹
三菱電機(株)
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中島 真一
東北大院
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厨川 常元
東北大 工
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横山 潤
東北大学大学院理学研究科生物学専攻
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中島 利郎
三菱電機株式会社
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升谷 五郎
東北大学航空宇宙工学専攻
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元木 健順
東北大学大学院
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渋谷 篤史
東北大
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佐々木 卓也
住友重機械工業株式会社
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竹島 雅之
東北大学
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澁谷 篤史
東北大学
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片倉 圭
東北大院
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富田 良幸
住友重工
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工藤 康人
東北大院
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荒井 義和
東北大院
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清水 裕樹
東北大(院)
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中島 利郎
三菱電機(株)先端技術総合研究所
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ホレンバック ウベ
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Institute for Microstructure Technology
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ワラベ ウルリケ
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Institute for Microstructure Technology
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モーア ユルゲン
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Institute for Microstructure Technology
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岡崎 祐一
(独)産業技術総合研究所
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岡崎 祐一
機械技研
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金井 雅也
東芝(株)
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安竹 睦実
(株)リョウテック
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森 俊二
会津大学大学院 コンピュータ理工学 研究科
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森 俊二
会津大学
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田野 誠
東北大院
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葛 宗涛
東北大学大学院
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葛 宗涛
東北大 (院)
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西野 洋一
東北大 (院)
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桑野 博喜
東北大学大学院工学研究科
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小山 直
東北大学大学院
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人見 宜輝
KEK
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孫 萍
東北大学大学院
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源田 聡
東北大学大学院
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ホレンバック ウベ
カールスルーエ研究センター
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荒井 義和
東北大学 大学院工学研究科
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大沼 孝真
東北大院
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佐藤 栄二郎
東北大学大学院
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出島 秀一
東北大院
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冨田 良幸
住友重機械
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野村 進直
東北大学大学院
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佐々木 卓也
住友重機械工業 平塚研
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清野 慧
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
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宇田 豊
ニコン株式会社
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蔡 萍
東北大
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小倉 一朗
東北大学大学院工学研究科
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小倉 一朗
東北大 工
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金井 雅也
東北大学大学院
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中田 衆得
東北大学大学院
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仲嶋 一
三菱電機(株)
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中島 利郎
三菱電機(株)
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林 玉池
中国天津大学
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野村 進直
東北大学大学院:(現)富士通(株)
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ワラベ ウルリケ
カールスルーエ研究センター
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岡崎 祐一
産業技術総合研
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林 玉池
東北大学
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桑野 博喜
東北大学大学部工学研究科ナノメカニクス専攻
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木村 彰秀
東北大
著作論文
- Dual正弦波格子型サーフェスエンコーダに関する研究 : 測定原理の提案と検証実験
- 815 マルチプローブ型円筒形状測定機におけるプローブの最適配置
- 長尺円筒の中心線真直形状の超精密測定に関する研究
- 署名識別システムに関する研究 : 筆圧3分力検出用電子ペンの試作
- 403 スクロールの精密測定に関する研究 : 測定システムの構築(学生賞 III,2.学術講演)
- 11-330 東北大学機械系大学院におけるインターンシッププログラム((21)インターンシップ-III)
- 長尺工具マイクロエッジ半径の高精度高速計測システムの開発
- 312 マイクロ非球面形状測定用プローブに関する研究 : シリカ球を用いたマイクロスタイラスの製作(OS-10 加工計測・評価)
- 光干渉型サーフェスエンコーダに関する研究
- Sawyer型平面モータの精密位置決めに関する研究 : 位置決めシステムの提案と微小位置決め実験
- 402 非球面形状測定に関する研究 : 自律校正法によるプローブ球形状の高精度化(学生賞 III,2.学術講演)
- 305 サーフェスモータステージシステム用コントローラの研究([2]計測システムと応用技術)(OS10 加工計測・評価)
- 形状測定機能をもつナノ加工プローブの研究 : 加工プローブにおける加工評価実験(G13-2 機械加工および工作機械(2),G13 生産加工・工作機械部門)
- 逐次2点法の功罪
- マイクロマシニング技術を用いた光学式距離センサ
- サーフェスエンコーダによる5自由度位置・姿勢の同時計測
- 高精度長尺塗布工具のスリット幅測定に関する研究
- 312 小型ファストツールサーボの製作と評価
- 干渉計によるサブナノメートルの変位測定制度の保証
- 知的精密計測の必要性
- 知的・ナノインプロセス計測の展望
- 2. 加工技術の研究状況 : 2・7 加工計測(機械工学年鑑(1993年)加工学・加工機器)
- 2802 非球面形状のオンマシン測定(第 2 報) : 接触式プローブ先端球形状誤差の校正
- 干渉計参照面のその場自律校正
- 2809 高精度角度センサの研究
- 角度3点法による真円度と回転誤差測定に関する研究 : 第1報 角度3点法による真円度測定
- 3217 軟組織中の異物検出用センサに関する研究
- 2次元角度格子と2次元角度センサを組み合せた面内変位検出機構の開発
- ローリングの超精密計測と制御に関する研究
- 2次元角度センサを用いた面内変位検出機構の開発に関する研究
- 角度情報をベースとした多自由度の位置・姿勢検出法
- 2次元角度センサを用いた多自由度精密位置検出手法の研究
- 幾何学量センサのその場自律校正法の研究
- 高精度容量型変位計のその場自律校正に関する研究
- ナノラジアン角度センサの開発とその自律校正
- 干渉顕微鏡のその場自律校正法
- 401 サーフェスエンコーダによる位置・姿勢 5 自由度検出についての研究 : 検出誤差の低減
- サーフェスモータ駆動型多自由度ステ一ジの位置決めの研究(第2報) : ステ一ジのダイナミック制御による微小位置決め実験
- サーフェスモータ駆動型多自由度ステージの位置決めの研究(第2報) : ステージのダイナミック制御による微小位置決め実験
- サーフェスモータ駆動型多自由度ステージの位置決めの研究 : 第1報サーフェスエンコーダを用いた位置検出システムの構築
- 静電容量型傾斜角度センサの開発-センサの構造とそのインタフェース回路-
- 角度センサの平均感度の迅速校正法に関する研究
- 回転速度の計測における半導体レーザの自己混合干渉の解析
- ナノラジアン角度センサの開発とその自律校正(第3報) -測定範囲の小さい角度センサの平均感度の校正法-
- ナノラジアン角度センサの開発とその自律校正(第2報) 角度変位シフト量のドリフトによる校正誤差の修正法-
- SPMの高精度化手法の提案とその液中作動型AFMへの適用
- 319 微細パターン創成におけるインプロセス力計測の研究(第 1 報)
- AFMによるインプロセス計測とナノ加工
- 2次元変位センサの自律校正法
- 自律校正法によるロバストなセンシング技術(ロバストなセンシング技術)
- A Surface Encoder with Dual Sine-grids:-Proposal of the Measurement Principle and Identification Experiments-