319 微細パターン創成におけるインプロセス力計測の研究(第 1 報)
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概要
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A machining system of diamond turning based on the fast tool servo technique has been constructed for generating micro-patterns. To accurately generate the micro-pattern and understand the nano-cutting phenomenon, it is desired to monitor the machining force in the machining process. In this paper, an instrument was designed and fabricated to moni-tor the machining forces during diamond turning of the micro-pattern. Instrument design and measurement results are presented.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-11-20
著者
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