A Surface Encoder with Dual Sine-grids:-Proposal of the Measurement Principle and Identification Experiments-
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
This paper describes a new type of surface encoder for planar position measurement, which consists of a sinusoidal grid (target sine-grid) and an optical sensor unit. The optical sensor employs a transparent sine-grid instead of a grid pattern film used in a conventional surface encoder. The transparent sine-grid is generated on a glass plate with the same amplitude and wavelength as the target sine-grid. Simulation results have shown that planar displacement between the two sine-grids can be obtained from the output of the sensor unit. Compared with conventional surface encoder, the new type surface encoder is expected to have higher S/N ratio. Experimental results are also presented.
著者
関連論文
- 回折光干渉型XYZ3軸変位センサに関する研究
- Dual正弦波格子型サーフェスエンコーダに関する研究 : 測定原理の提案と検証実験
- 815 マルチプローブ型円筒形状測定機におけるプローブの最適配置
- S1303-1-2 超精密旋盤の運動誤差測定に関する研究 : スライド運動誤差測定のための回転型反転法の提案(加工計測・評価システム(1))
- 多軸サーフェスエンコーダの基礎
- 長尺円筒の中心線真直形状の超精密測定に関する研究
- 署名識別システムに関する研究 : 筆圧3分力検出用電子ペンの試作
- 403 スクロールの精密測定に関する研究 : 測定システムの構築(学生賞 III,2.学術講演)
- S1303-2-4 非分割型PDを用いた高感度角度センサに関する研究(加工計測・評価システム(2))
- 11-330 東北大学機械系大学院におけるインターンシッププログラム((21)インターンシップ-III)
- 長尺工具マイクロエッジ半径の高精度高速計測システムの開発
- 312 マイクロ非球面形状測定用プローブに関する研究 : シリカ球を用いたマイクロスタイラスの製作(OS-10 加工計測・評価)
- 非接触式変位センサによる精密ナノ計測制御
- 大面積3次元微細形状の高精度加工計測システム
- 光干渉型サーフェスエンコーダに関する研究
- Sawyer型平面モータの精密位置決めに関する研究 : 位置決めシステムの提案と微小位置決め実験
- 402 非球面形状測定に関する研究 : 自律校正法によるプローブ球形状の高精度化(学生賞 III,2.学術講演)
- 305 サーフェスモータステージシステム用コントローラの研究([2]計測システムと応用技術)(OS10 加工計測・評価)
- 形状測定機能をもつナノ加工プローブの研究 : 加工プローブにおける加工評価実験(G13-2 機械加工および工作機械(2),G13 生産加工・工作機械部門)
- ナノスケールの知的計測の確立を目指して(知的ナノ計測研究分科会)(専門委員会・分科会研究レビュー)
- 逐次2点法の功罪
- マイクロマシニング技術を用いた光学式距離センサ
- サーフェスエンコーダによる5自由度位置・姿勢の同時計測
- 高精度長尺塗布工具のスリット幅測定に関する研究
- S1303-2-5 3次元マイクロ形状測定用スタイラスに関する研究(加工計測・評価システム(2))
- 312 小型ファストツールサーボの製作と評価
- 干渉計によるサブナノメートルの変位測定制度の保証
- 155 超精密加工機運動誤差の精密測定に関する研究(ロボティクス・メカトロニクス/機械力学・計測制御)
- 知的精密計測の必要性
- 知的・ナノインプロセス計測の展望
- 2. 加工技術の研究状況 : 2・7 加工計測(機械工学年鑑(1993年)加工学・加工機器)
- S1303-2-3 マイクロリニアステージに関する研究(加工計測・評価システム(2))
- S1303-1-5 ダイヤモンド切削工具の精密測定に関する研究 : 光プローブによる工具エッジの位置決めに関するシミュレーション(加工計測・評価システム(1))
- 178 電磁アクチュエータによる高速工具制御(産業・化学機械と安全/生産システム/生産加工・工作機械/環境工学)
- マイクロ非球面の精密ナノ計測
- 2802 非球面形状のオンマシン測定(第 2 報) : 接触式プローブ先端球形状誤差の校正
- 干渉計参照面のその場自律校正
- 2809 高精度角度センサの研究
- 角度3点法による真円度と回転誤差測定に関する研究 : 第1報 角度3点法による真円度測定
- 3217 軟組織中の異物検出用センサに関する研究
- 2次元角度格子と2次元角度センサを組み合せた面内変位検出機構の開発
- 力センサを組み込んだ高速工具制御システムに関する研究 : —システムの設計と加工力のインプロセス計測実験—
- ローリングの超精密計測と制御に関する研究
- 2次元角度センサを用いた面内変位検出機構の開発に関する研究
- 角度情報をベースとした多自由度の位置・姿勢検出法
- 2次元角度センサを用いた多自由度精密位置検出手法の研究
- 幾何学量センサのその場自律校正法の研究
- 高精度容量型変位計のその場自律校正に関する研究
- ナノラジアン角度センサの開発とその自律校正
- 干渉顕微鏡のその場自律校正法
- 401 サーフェスエンコーダによる位置・姿勢 5 自由度検出についての研究 : 検出誤差の低減
- サーフェスモータ駆動型多自由度ステ一ジの位置決めの研究(第2報) : ステ一ジのダイナミック制御による微小位置決め実験
- サーフェスモータ駆動型多自由度ステージの位置決めの研究(第2報) : ステージのダイナミック制御による微小位置決め実験
- サーフェスモータ駆動型多自由度ステージの位置決めの研究 : 第1報サーフェスエンコーダを用いた位置検出システムの構築
- 16・8 加工計測(16.加工学・加工機器,機械工学年鑑)
- 精密工学会東北支部 近况報告(JSPEだより)
- ソフトウェアデータムによる形状の絶対測定
- 静電容量型傾斜角度センサの開発-センサの構造とそのインタフェース回路-
- 角度センサの平均感度の迅速校正法に関する研究
- 回転速度の計測における半導体レーザの自己混合干渉の解析
- ナノラジアン角度センサの開発とその自律校正(第3報) -測定範囲の小さい角度センサの平均感度の校正法-
- ナノラジアン角度センサの開発とその自律校正(第2報) 角度変位シフト量のドリフトによる校正誤差の修正法-
- 基準を作りながらの知的精密計測 (特集 : はかる)
- SPMの高精度化手法の提案とその液中作動型AFMへの適用
- 319 微細パターン創成におけるインプロセス力計測の研究(第 1 報)
- 鏡面形状のオン・マシン測定に関する研究 : 測定原理及びセンサの基本性能
- AFMによるインプロセス計測とナノ加工
- 2次元変位センサの自律校正法
- ソフトウェアデータムによる真円度測定に関する研究 : 混合法と3点法のシミュレーションによる比較
- 衛星用大型ミラーの加工機上高精度形状測定に関する研究(第1報)形状測定システムの構築とアライメント手法の開発
- 自律校正法によるロバストなセンシング技術(ロバストなセンシング技術)
- A Surface Encoder with Dual Sine-grids:-Proposal of the Measurement Principle and Identification Experiments-