S1303-2-3 マイクロリニアステージに関する研究(加工計測・評価システム(2))
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概要
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In the field of mobile phone, the demand of the image stabilizer due to the development of the vest pocket camera for the mobile phone in increasing and it is needed to develop the stage where the image sensor on it can quickly move. This paper presents a micro linear stage which has a high speed, a long stroke and can perform precision positioning. This stage which is based on the principle of friction drive has a long stroke and a high resolution of up to 6 nm. In this research, by using small and strong magnets as friction elements, the change in the frictional force with respect to changes in posture can be controlled, and this provides an advantage of stable drive in free postures. The characteristic of the stage is also presented.
- 2009-09-12
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