超精密位置決めのための変位センサ (特集 機械設計者のための 精密位置決め機構設計--最新事例で学ぶ高精度化,高速化,低コスト化の実現)

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概要

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• 日刊工業新聞社の論文

著者

• 高 偉

  東北大

• 木村 彰秀

  東北大

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