Dual正弦波格子型サーフェスエンコーダに関する研究 : 測定原理の提案と検証実験
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概要
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This paper describes a new type of surface encoder for planar position measurement, which consists of a sinusoidal grid (target sine-grid) and an optical sensor unit. The optical sensor employs a transparent sine-grid instead of a grid pattern film used in a conventional surface encoder. The transparent sine-grid is generated on a glass plate with the same amplitude and wavelength as the target sine-grid. Simulation results have shown that planar displacement between the two sine-grids can be obtained from the output of the sensor unit. Compared with conventional surface encoder, the new type surface encoder is expected to have higher S/N ratio. Experimental results are also presented.
- 社団法人精密工学会の論文
- 2006-03-05
著者
-
木村 彰秀
東北大学大学院
-
高 偉
東北大学大学院工学研究科
-
鶴見 直也
東北大学大学院
-
渡辺 陽司
東北大学大学院
-
清野 慧
東北大学大学院工学研究科
-
高 偉
東北大学工学研究科
-
清野 慧
京都大学
-
清野 慧
精密測定研
-
木村 彰秀
東北大
-
高 偉
東北大学大学院
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