516 円筒面大面積3次元微細形状の機上ナノ計測に関する研究 : センサの開発と評価実験(機械力学・計測制御)
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-03-13
著者
-
高 偉
東北大学工学研究科
-
高 偉
東北大工
-
清野 慧
東北大工
-
清水 浩貴
九州工業大学工学部
-
田野 誠
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
清水 浩貴
東北大工
-
田野 誠
東北大学大学院
-
佐藤 真路
東北大
-
田野 誠
東北大院
-
清野 慧
京都大学
-
清野 慧
精密測定研
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