サーフェスエンコーダを組込んだ多自由度サーフェスモータステージの研究:多自由度ステージシステムの構築
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2002-03-01
著者
関連論文
- Dual正弦波格子型サーフェスエンコーダに関する研究 : 測定原理の提案と検証実験
- φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 : 第2報 装置性能の検証(剛性・運動精度)
- ナノメータ位置決めシステムの開発(第1報) : シミュレーションによる基礎的検討
- 両頭研削 (特集 硬脆材料の機械加工技術--付加価値の高い電子材料の加工) -- (シリコンウェハ工程別加工技術)
- Siウェハ用超精密両頭研削装置の開発 -第一報 システム構成と性能評価-
- φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 -第1報 超大口径ウェーハ用両頭研削装置の基礎検討-
- 815 マルチプローブ型円筒形状測定機におけるプローブの最適配置
- マルチプローブ型円筒形状測定機の開発
- マルチプローブ型円筒形状測定機の開発(第3報) : 多断面法による測定
- マルチプローブ型円筒形状測定機の開発(第2報):測定結果の誤差評価
- マルチプローブ型円筒形状測定機の開発(第1報) : 観測方程式と実験装置
- TMDを用いた真空用リニアモータステージの開発
- 長尺円筒の真直度測定に関する研究 : 異なる測定法による比較実験
- 署名識別システムに関する研究 : 筆圧3分力検出用電子ペンの試作
- 403 スクロールの精密測定に関する研究 : 測定システムの構築(学生賞 III,2.学術講演)
- 長尺工具マイクロエッジ半径の高精度高速計測システムの開発
- 312 マイクロ非球面形状測定用プローブに関する研究 : シリカ球を用いたマイクロスタイラスの製作(OS-10 加工計測・評価)
- 高感度2軸マイクロ角度センサの開発
- スパイラル走査型AFMによる大面積3次元微細形状の高精度測定に関する研究
- 高速工具サーボによる大面積正弦波微細格子基準面の高精度創成 : 格子基準面ローカル領域の高精度化(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 高速工具サーボによる大面積正弦波微細格子基準面の高精度創成 : 格子基準面ローカル領域の高精度化
- 光干渉型サーフェスエンコーダに関する研究
- Sawyer型平面モータの精密位置決めに関する研究 : 位置決めシステムの提案と微小位置決め実験
- 402 非球面形状測定に関する研究 : 自律校正法によるプローブ球形状の高精度化(学生賞 III,2.学術講演)
- 原子間力顕微鏡による大面積3次元微細形状測定に関する研究
- 305 サーフェスモータステージシステム用コントローラの研究([2]計測システムと応用技術)(OS10 加工計測・評価)
- 303 小型角度センサに関する研究([1]高精度マイクロ幾何学量計測)(OS10 加工計測・評価)
- 形状測定機能をもつナノ加工プローブの研究 : 加工プローブにおける加工評価実験(G13-2 機械加工および工作機械(2),G13 生産加工・工作機械部門)
- 超精密非球面加工機の運動誤差測定(第2報) : 運動誤差の機上測定実験(G13-2 機械加工および工作機械(2),G13 生産加工・工作機械部門)
- 高精度長尺工具の精密測定に関する研究 : CDDカメラを用いたスリット幅測定
- サーフェスエンコーダによる5自由度位置・姿勢の同時計測
- マルチスポット光源を用いたサーフェスエンコーダの研究
- 多自由度の位置と姿勢の精密検出法の研究 : 走査型角度センサによる角度格子読取り
- 角度情報をベースとする多自由度位置・姿勢検出法の研究 : マルチスポット光源の採用による位置検出精度向上
- 高精度レーザ加工システム用XYステージの開発 (加工システム小特集)
- 高精度レーザ加工システム用XYステージの開発
- リニアモータXYステージを用いた高精度レーザ加工システム(第3報) : 高速加工ヘッドによるハイブリッドシステム
- サーフェイスモータXYステージの開発 (精密技術小特集)
- カルマンフィルタと外乱オブザーバを用いた超精密位置制御
- リニアモータXYステージを用いた高精度レーザ加工システム(第2報)-ステージの軌跡追従制御-
- リニアモータXYステージを用いた高精度レーザ加工システム
- 高精度長尺塗布工具のスリット幅測定に関する研究
- 波動歯車装置の精密形状測定に関する研究:歯切り量偏差の機上測定装置
- Harmonic Drive Gearsの精密形状測定に関する研究 : レーザー変位計による歯底形状測定
- 弾性ヒンジ案内を用いたリニアモータステージの開発
- パラレルリンク方式を用いた加工作業用ハンド機構
- パラレルリンク式微動ステージの6自由度位置決め制御
- パラレルリンク式微動ステージの非干渉化設計
- 516 円筒面大面積3次元微細形状の機上ナノ計測に関する研究 : センサの開発と評価実験(機械力学・計測制御)
- 312 小型ファストツールサーボの製作と評価
- 両頭研削機の送り軸系の非線形シミュレーション (加工システム小特集)
- 知的精密測定(3.1 各分野の現状,3.精密工学の今,創立75周年記念)
- 312 AFMによる大面積三次元微細形状の高精度測定に関する研究 : リニアエンコーダによる横方向精度向上(生産加工)
- 511 バルブスリーブの内部欠陥の迅速検査に関する研究
- 知的精密計測の必要性
- 知的・ナノインプロセス計測の展望
- 2. 加工技術の研究状況 : 2・7 加工計測(機械工学年鑑(1993年)加工学・加工機器)
- 310 超精密非球面加工機の運動誤差測定 : 静圧スライドテーブルの真直度及びローリング誤差測定(生産加工)
- 2802 非球面形状のオンマシン測定(第 2 報) : 接触式プローブ先端球形状誤差の校正
- 2809 高精度角度センサの研究
- 角度3点法による真円度と回転誤差測定に関する研究 : 第1報 角度3点法による真円度測定
- 2次元角度センサのその場自律校正 : 真円度および回転運動測定システムにおける校正
- サーフェスエンコーダを組込んだ多自由度サーフェスモータステージの研究:多自由度ステージシステムの構築
- 弾性変形を利用した空圧ダイリップ駆動機構の開発
- 3217 軟組織中の異物検出用センサに関する研究
- ナノメートル領域の計測 (特集 ナノテクノロジーの最新開発動向)
- サーフェイスモータを用いた超精密駆動機構に関する研究
- 座標測定機の自律校正法の研究 : 第3報 不等間隔プロービングによる自律校正
- 座標測定機の自律校正法の研究:第2報座標測定機への適用
- 生体軟組織の硬度分布測定に関する研究:硬度分布測定センサの提案と基礎的実験
- インプロセス測定器を用いた形状の自律的創成に関する基礎研究
- 401 サーフェスエンコーダによる位置・姿勢 5 自由度検出についての研究 : 検出誤差の低減
- サーフェスモータ駆動型多自由度ステ一ジの位置決めの研究(第2報) : ステ一ジのダイナミック制御による微小位置決め実験
- サーフェスモータ駆動型多自由度ステージの位置決めの研究(第2報) : ステージのダイナミック制御による微小位置決め実験
- サーフェスモータ駆動型多自由度ステージの位置決めの研究 : 第1報サーフェスエンコーダを用いた位置検出システムの構築
- サーフェスモータ駆動型多自由度ステージの位置決めの研究 : 第2報 微小位置決め制御につてい
- 自律的位置検出に関する基礎的研究
- 電子部品製造装置におけるボールネジとリニアモータ送りの比較
- 空気圧アクチュエータの多自由度化可能性
- シリコンウエハ用超精密両頭研削装置の開発 (精密技術小特集)
- XYステージ (特集 事例で見る精密位置決めの最新動向) -- (事例)
- 大面積3次元マイクロストラクチャの高精度創成と評価
- 509 2次元角度格子の高精度創成に関する研究(第1報) : 2D-DFTによる2次元角度格子の評価(加工・生産機器)
- サーフェイスモータを用いた六自由度精密XYステージの開発
- サーフェスモータ(精密・超精密位置決めの現状と将来予想)
- 319 微細パターン創成におけるインプロセス力計測の研究(第 1 報)
- 145 光スポット走査型角度センサによる位置検出の研究
- 角度情報を用いた真円度測定に関する研究(第2報) : 角度3点法と変位3点法との比較
- 311 形状測定機能をもつナノ加工プローブの研究 : 切削方向における周波数特性の向上(生産加工)
- 405 カーボンナノチューブを用いた高精度走査プローブ顕微鏡の研究 : 自己検知型原子間力顕微鏡の構成
- 407 干渉顕微鏡の3次元校正に関する研究 : XY軸方向誤差の自律校正(OS11 計測・評価)
- 418 干渉計による球面形状の精密測定法(第2報)座標変換精度の向上(精密加工・測定・生産システム)
- リニアモータとボールネジの駆動特性評価 (光・量子技術 メカトロニクス技術 特集)
- 3519 2 次元角度格子製作システムの開発(第 2 報) : 2 次元角度格子創成の高精度化
- 多点法による長尺円筒の精密計測に関する研究 : ゼロ点誤差のリアルタイム補正
- FPDプロセス用超大型・超精密位置決めステージの研究開発
- 事例3 製造装置におけるボールねじとリニアモータの特性比較 (特集 進展するリニアモータの産業応用)
- 自律校正法によるロバストなセンシング技術(ロバストなセンシング技術)