φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 -第1報 超大口径ウェーハ用両頭研削装置の基礎検討-
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概要
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- 1999-03-05
著者
-
磯部 章
住友重機械工業(株)
-
冨田 良幸
住友重機械工業株式会社
-
阿部 耕三
スーパーシリコン研究所(ssi)
-
阿部 耕三
スーパーシリコン研究所
-
岩瀬 昭雄
住友重機械
-
原 一敬
住友重機械工業
-
永田 浩
住友重機械工業(株)
-
磯部 章
住友重機械ファインテック(株)
-
永田 浩
住友重機械工業
-
原 一敬
住友重機械
-
冨田 良幸
住友重機械
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