φ400ウェーハの高精度平面研削技術の研究 -第1報 超大口径ウェーハ用研削装置の基礎検討-
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概要
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- 1998-03-05
著者
-
狛 豊
(株)ディスコ
-
阿部 耕三
スーパーシリコン研究所(ssi)
-
阿部 耕三
スーパーシリコン研究所
-
荒井 一尚
(株)ディスコ
-
荒井 一尚
株式会社ディスコ
-
一 啓文
スーパーシリコン研究所(SSi)
-
北野 元己
株式会社ディスコ
-
大川 真司
スーパーシリコン研究所
-
石川 俊文
スーパーシリコン研究所
-
狛 豊
株式会社ディスコ
-
北野 元己
ディスコ
-
石川 俊文
スーパーシリコン研究所(ssi)
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