φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 : 第2報 装置性能の検証(剛性・運動精度)
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概要
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- 2000-09-01
著者
-
塚原 真一郎
住友重機械工業
-
磯部 章
住友重機械工業(株)
-
冨田 良幸
住友重機械工業株式会社
-
阿部 耕三
スーパーシリコン研究所(ssi)
-
阿部 耕三
スーパーシリコン研究所
-
岩瀬 昭雄
住友重機械
-
原 一敬
住友重機械工業
-
磯部 章
住友重機械ファインテック(株)
-
原 一敬
住友重機械
-
冨田 良幸
住友重機械
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