岩瀬 昭雄 | 住友重機械
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概要
関連著者
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岩瀬 昭雄
住友重機械
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冨田 良幸
住友重機械工業株式会社
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磯部 章
住友重機械工業(株)
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原 一敬
住友重機械工業
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原 一敬
住友重機械
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冨田 良幸
住友重機械
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阿部 耕三
スーパーシリコン研究所(ssi)
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阿部 耕三
スーパーシリコン研究所
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磯部 章
住友重機械ファインテック(株)
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塚原 真一郎
住友重機械工業
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永田 浩
住友重機械工業(株)
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永田 浩
住友重機械工業
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金井 彰
足利工業大学
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金井 彰
足利工大
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鈴木 盛江
スーパーシリコン研究所(SSi)
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大石 弘
スーパーシリコン研究所(SSi)
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森 英彦
住友重機械
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宮下 政和
ナノテク研究所
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宮下 政和
Nano・tec研究所
著作論文
- φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 第3報 ビトリファイドホイールの場合の研削性能
- φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 : 第2報 装置性能の検証(剛性・運動精度)
- ナノメータ位置決めシステムの開発(第1報) : シミュレーションによる基礎的検討
- 両頭研削 (特集 硬脆材料の機械加工技術--付加価値の高い電子材料の加工) -- (シリコンウェハ工程別加工技術)
- Siウェハ用超精密両頭研削装置の開発 -第一報 システム構成と性能評価-
- φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 -第1報 超大口径ウェーハ用両頭研削装置の基礎検討-
- 高速油圧複動プレス用駆動装置の開発
- 配管用十字管継手形状品の閉そく鍛造
- パワ-ジェネレ-タ駆動による多方向鍛造成形機の開発
- 温間閉そく鍛造機の研究開発