阿部 耕三 | スーパーシリコン研究所

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• 阿部 耕三

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• 石川 俊文

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• 大川 真司

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• 岩瀬 昭雄

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  黒田精工(株)

• 安永 暢男

  東海大学工学部精密工学科

• 北野 元己

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• 狛 豊

  (株)ディスコ

• 磯部 章

  住友重機械工業(株)

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• 冨田 良幸

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• 浅川 慶一郎

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• 大東 聖昌

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• 二宮 一男

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• 大東 聖昌

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著作論文

• φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 第3報 ビトリファイドホイールの場合の研削性能
• φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 : 第2報 装置性能の検証(剛性・運動精度)
• φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 -第1報 超大口径ウェーハ用両頭研削装置の基礎検討-
• ダイヤモンドホイールのクリーニング技術の研究 -ガラスビーズの充填率の影響について-
• φ400ウエーハの超精密形状測定技術の研究 第2報 測定の再現性と新たな形状評価機能について
• φ400ウェーハの超精密形状測定技術の研究 -第1報 超大口径ウェーハ用形状測定装置の基礎検討-
• φ400ウェーハの両面研磨技術の研究 : 第5報 温度ならびに機械的挙動と加工精度
• ぜい性材料の超精密研削技術の研究 : 超精密研削装置の試作
• φ400ウェーハの高精度平面研削技術の研究 -第2報 超大口径ウェーハ用研削装置の構成-
• φ400ウェーハの高精度平面研削技術の研究 -第1報 超大口径ウェーハ用研削装置の基礎検討-
• ウェーハ研磨プロセスのシミュレーション : 研磨パッドが受ける累積摩擦距離(研磨履歴)とウェーハ形状
• φ400ウェーハの両面研磨技術の研究-第4報 超大口径ウェーハ用両面研磨装置の構造-
• φ400ウェーハの高精度平面研削技術の研究 -第5報 レジンボンドホイールを用いた場合の研削特性-
• φ400ウェーハのラッピング技術の研究 -第5報 5枚ラッピング装置の特性-
• φ400ウェーハのラッピング技術の研究 -第4報 5枚ラッピング装置の構成-
• φ400ウェーハの高精度平面研削技術の研究 -第4報 ウェーハ高平坦化のための姿勢調整機構-
• φ400ウェーハの高精度平面研削技術の研究 -第3報片持ち型ウェーハ研削装置の特性-
• φ400ウェーハの両面研磨技術の研究 -第2報 φ200ウェーハによるシミュレーションテスト-
• φ400ウェーハの両面研磨技術の研究 -第1報 5枚両面研磨方式の検討-
• φ400ウェーハのラッピング技術の研究 -第3報 ウェーハを偏心させた場合の加工特性-
• φ400ウェーハのラッピング技術の研究 -第2報φ200ウェーハによるシミュレーションテスト-
• φ400ウェーハのラッピング技術の研究 -第1報ラッピング方式の検討-
• ポリシングパッドの瞬間粘弾性測定技術

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