北野 元己 | ディスコ

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概要

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• 阿部 耕三

  スーパーシリコン研究所(ssi)

• 阿部 耕三

  スーパーシリコン研究所

• 石川 俊文

  スーパーシリコン研究所

• 北野 元己

  ディスコ

• 石川 俊文

  スーパーシリコン研究所(ssi)

• 狛 豊

  (株)ディスコ

• 荒井 一尚

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• 荒井 一尚

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• 一 啓文

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• 北野 元己

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• 大川 真司

  スーパーシリコン研究所

• 狛 豊

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• 三浦 修

  ディスコ

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著作論文

• φ400ウェーハの高精度平面研削技術の研究 -第2報 超大口径ウェーハ用研削装置の構成-
• φ400ウェーハの高精度平面研削技術の研究 -第1報 超大口径ウェーハ用研削装置の基礎検討-
• φ400ウェーハの高精度平面研削技術の研究 -第5報 レジンボンドホイールを用いた場合の研削特性-

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