φ400ウェーハの高精度平面研削技術の研究 -第5報 レジンボンドホイールを用いた場合の研削特性-
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概要
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- 1999-03-05
著者
-
阿部 耕三
スーパーシリコン研究所(ssi)
-
阿部 耕三
スーパーシリコン研究所
-
石川 俊文
スーパーシリコン研究所
-
北野 元己
ディスコ
-
三浦 修
ディスコ
-
石川 俊文
スーパーシリコン研究所(ssi)
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