φ400ウェーハの両面研磨技術の研究-第4報 超大口径ウェーハ用両面研磨装置の構造-
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概要
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- 1999-09-01
著者
-
阿部 耕三
スーパーシリコン研究所(ssi)
-
阿部 耕三
スーパーシリコン研究所
-
一 啓文
スーパーシリコン研究所(SSi)
-
WOLTERS Peter
スーパーシリコン研究所(SSi)
-
HESSE Werner
スーパーシリコン研究所(SSi)
-
PETEMPKA Eberhard
スーパーシリコン研究所(SSi)
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