浅川 慶一郎 | スーパーシリコン研究所

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概要

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• 浅川 慶一郎

  (株)スーパーシリコン研究所

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• 大石 弘

  スーパーシリコン研究所(SSi)

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• 塚本 和繁

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著作論文

• マルチワイヤーソー・スラリー中の砥粒およびシリコン切断屑の粒径分布(φ400mmシリコン切断研究 その4)
• Φ400mmシリコンのマルチ・ワイヤーソー切断におけるワイヤー走行速度の効果 : Φ400シリコン切断研究 その3
• マルチワイヤーソー切断用水溶性クーラント流動特性の実験によるシミュレーション (φ400シリコン切断研究 その2)
• φ400mmシリコン切断用マルチワイヤーソーの設計コンセプト (φ400mmシリコン切断研究 その1)
• φ400ウェーハのラッピング技術の研究 -第5報 5枚ラッピング装置の特性-

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