マルチワイヤーソー切断用水溶性クーラント流動特性の実験によるシミュレーション (φ400シリコン切断研究 その2)

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概要

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• 1999-09-01

著者

• 大石 弘

  スーパーシリコン研究所(SSi)

• 大石 弘

  (株)スーパーシリコン研究所

• 芦田 昭雄

  大智化学産業(株)

• 浅川 慶一郎

  (株)スーパーシリコン研究所

• 塚本 和繁

  (株)スーパーシリコン研究所

• 浅川 慶一郎

  スーパーシリコン研究所

• 塚本 和繁

  スーパーシリコン研究所

• 松崎 順一

  スーパーシリコン研究所

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