浅川 慶一郎 | (株)スーパーシリコン研究所

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• 浅川 慶一郎

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• 大石 弘

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• 塚本 和繁

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• 大石 弘

  スーパーシリコン研究所(SSi)

• 宇野 義幸

  岡山大学工学部機械工学科

• 塚本 和繁

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• 宇野 義幸

  岡山大学工学部

• 芦田 昭雄

  大智化学産業(株)

• 松崎 順一

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• 阿部 耕三

  スーパーシリコン研究所(ssi)

• 阿部 耕三

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• 一 啓文

  スーパーシリコン研究所(SSi)

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• 石川 俊文

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著作論文

• マルチ・ワイヤソー切断における砥粒径変化と切断機構に関する考察 : φ400mmシリコンインゴットの切断に関する研究(第3報)
• マルチ・ワイヤソー切断におけるワイヤ走行速度およびインゴット送り速度の効果 : φ400mmシリコンインゴットの切断に関する研究(第2報)
• マルチワイヤーソー・スラリー中の砥粒およびシリコン切断屑の粒径分布(φ400mmシリコン切断研究 その4)
• マルチ・ワイヤソー切断用水溶性クーラントの開発 : φ400mmシリコンインゴットの切断に関する研究 第1報
• Φ400mmシリコンのマルチ・ワイヤーソー切断におけるワイヤー走行速度の効果 : Φ400シリコン切断研究 その3
• マルチワイヤーソー切断用水溶性クーラント流動特性の実験によるシミュレーション (φ400シリコン切断研究 その2)
• φ400mmシリコン切断用マルチワイヤーソーの設計コンセプト (φ400mmシリコン切断研究 その1)
• φ400ウェーハのラッピング技術の研究 -第5報 5枚ラッピング装置の特性-

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