Φ400mmシリコンのマルチ・ワイヤーソー切断におけるワイヤー走行速度の効果 : Φ400シリコン切断研究 その3
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2000-03-01
著者
-
大石 弘
スーパーシリコン研究所(SSi)
-
大石 弘
(株)スーパーシリコン研究所
-
浅川 慶一郎
(株)スーパーシリコン研究所
-
塚本 和繁
(株)スーパーシリコン研究所
-
浅川 慶一郎
スーパーシリコン研究所
-
塚本 和繁
スーパーシリコン研究所
関連論文
- φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 第3報 ビトリファイドホイールの場合の研削性能
- ワイヤソー用水溶性スラリー
- マルチ・ワイヤソー切断における砥粒径変化と切断機構に関する考察 : φ400mmシリコンインゴットの切断に関する研究(第3報)
- マルチ・ワイヤソー切断におけるワイヤ走行速度およびインゴット送り速度の効果 : φ400mmシリコンインゴットの切断に関する研究(第2報)
- マルチワイヤーソー・スラリー中の砥粒およびシリコン切断屑の粒径分布(φ400mmシリコン切断研究 その4)
- マルチ・ワイヤソー切断用水溶性クーラントの開発 : φ400mmシリコンインゴットの切断に関する研究 第1報
- Φ400mmシリコンのマルチ・ワイヤーソー切断におけるワイヤー走行速度の効果 : Φ400シリコン切断研究 その3
- マルチワイヤーソー切断用水溶性クーラント流動特性の実験によるシミュレーション (φ400シリコン切断研究 その2)
- φ400mmシリコン切断用マルチワイヤーソーの設計コンセプト (φ400mmシリコン切断研究 その1)
- φ400ウェーハのラッピング技術の研究 -第5報 5枚ラッピング装置の特性-