冨田 良幸 | 住友重機械工業株式会社

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概要

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関連著者

• 冨田 良幸

  住友重機械工業株式会社

• 冨田 良幸

  住友重機械

• 冨田 良幸

  住友重機械工業 技開セ

• 磯部 章

  住友重機械工業(株)

• 岩瀬 昭雄

  住友重機械

• 原 一敬

  住友重機械工業

• 原 一敬

  住友重機械

• 牧野 健一

  住友重機械工業(株)平塚事業所

• 杉峰 正信

  住友重機械工業(株)田無製造所

• 小梁川 靖

  住友重機械工業 総合技術研究所

• 小梁川 靖

  住友重機械工業 (株) メカトロニクス事業部

• 塚原 真一郎

  住友重機械工業

• 磯部 章

  住友重機械ファインテック(株)

• 佐藤 文昭

  住友重機械工業(株)量子機器事業部

• 清野 慧

  京都大学

• 高 偉

  東北大学大学院工学研究科

• 清野 慧

  東北大学大学院工学研究科

• 金子 誠

  住友重機械

• 堀内 雅彦

  住友重機械工業(株)

• 伊藤 一博

  住友重機械工業(株)量子機器事業部

• 阿部 耕三

  スーパーシリコン研究所(ssi)

• 阿部 耕三

  スーパーシリコン研究所

• 木村 定彦

  住友重機械工業(株)

• 高 偉

  東北大学工学研究科

• 森 英彦

  住友重機械

• 永田 浩

  住友重機械工業(株)

• 永田 浩

  住友重機械工業

• 出島 秀一

  関西大

• 保木 慶則

  住友重機械工業(株)

• 保木 慶則

  住友重機械(株)レーザ事業センタ

• 木村 定彦

  住友重機械工業

• 清野 慧

  精密測定研

• 金井 彰

  足利工業大学

• 金井 彰

  足利工大

• 宮下 政和

  ナノテク研究所

• 宮下 政和

  Nano・tec研究所

• 高 偉

  東北大工

• 清野 慧

  東北大工

• 高 偉

  東北大

• 種子田 昭彦

  住友重機械工業株式会社

• 森田 洋

  住友重機械工業株式会社

• 田野 誠

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 佐々木 卓也

  住友重機械工業株式会社

• 片倉 圭

  東北大院

• 富田 良幸

  住友重工

• 平谷 慎一

  住友重機械工業 レーザ事業センター

• 鈴木 清士

  住友重機械工業 レーザ事業センター

• 小平 一穂

  住友重機械工業(株)システム研究所

• 田野 誠

  東北大学大学院

• 清野 慧

  東北大

• 森田 洋

  住友重機械工業(株)

• 出島 秀一

  東北大院

• 佐々木 卓也

  住友重機械工業 平塚研

• 森田 洋

  東京工業大学

• 高 偉

  東北大学大学院

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著作論文

• φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 : 第2報 装置性能の検証(剛性・運動精度)
• ナノメータ位置決めシステムの開発(第1報) : シミュレーションによる基礎的検討
• 両頭研削 (特集 硬脆材料の機械加工技術--付加価値の高い電子材料の加工) -- (シリコンウェハ工程別加工技術)
• Siウェハ用超精密両頭研削装置の開発 -第一報 システム構成と性能評価-
• φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 -第1報 超大口径ウェーハ用両頭研削装置の基礎検討-
• TMDを用いた真空用リニアモータステージの開発
• Sawyer型平面モータの精密位置決めに関する研究 : 位置決めシステムの提案と微小位置決め実験
• 305 サーフェスモータステージシステム用コントローラの研究([2]計測システムと応用技術)(OS10 加工計測・評価)
• 高精度レーザ加工システム用XYステージの開発
• リニアモータXYステージを用いた高精度レーザ加工システム(第3報) : 高速加工ヘッドによるハイブリッドシステム
• カルマンフィルタと外乱オブザーバを用いた超精密位置制御
• リニアモータXYステージを用いた高精度レーザ加工システム(第2報)-ステージの軌跡追従制御-
• リニアモータXYステージを用いた高精度レーザ加工システム
• 弾性ヒンジ案内を用いたリニアモータステージの開発
• パラレルリンク方式を用いた加工作業用ハンド機構
• パラレルリンク式微動ステージの6自由度位置決め制御
• パラレルリンク式微動ステージの非干渉化設計
• 両頭研削機の送り軸系の非線形シミュレーション (加工システム小特集)
• サーフェスエンコーダを組込んだ多自由度サーフェスモータステージの研究:多自由度ステージシステムの構築
• 弾性変形を利用した空圧ダイリップ駆動機構の開発
• サーフェイスモータを用いた超精密駆動機構に関する研究
• 空気圧アクチュエータの多自由度化可能性
• シリコンウエハ用超精密両頭研削装置の開発 (精密技術小特集)
• XYステージ (特集 事例で見る精密位置決めの最新動向) -- (事例)
• リニアモータとボールネジの駆動特性評価 (光・量子技術 メカトロニクス技術 特集)
• 事例3 製造装置におけるボールねじとリニアモータの特性比較 (特集 進展するリニアモータの産業応用)

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