弾性ヒンジ案内を用いたリニアモータステージの開発
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2000-09-01
著者
-
金子 誠
住友重機械
-
冨田 良幸
住友重機械工業株式会社
-
種子田 昭彦
住友重機械工業株式会社
-
森田 洋
住友重機械工業株式会社
-
冨田 良幸
住友重機械工業 技開セ
-
杉峰 正信
住友重機械工業(株)田無製造所
-
森田 洋
住友重機械工業(株)
-
冨田 良幸
住友重機械
-
森田 洋
東京工業大学
関連論文
- φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 : 第2報 装置性能の検証(剛性・運動精度)
- ナノメータ位置決めシステムの開発(第1報) : シミュレーションによる基礎的検討
- 両頭研削 (特集 硬脆材料の機械加工技術--付加価値の高い電子材料の加工) -- (シリコンウェハ工程別加工技術)
- Siウェハ用超精密両頭研削装置の開発 -第一報 システム構成と性能評価-
- φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 -第1報 超大口径ウェーハ用両頭研削装置の基礎検討-
- TMDを用いた真空用リニアモータステージの開発
- 協調制御型レーザ穴あけシステムの加工計画
- Sawyer型平面モータの精密位置決めに関する研究 : 位置決めシステムの提案と微小位置決め実験
- 305 サーフェスモータステージシステム用コントローラの研究([2]計測システムと応用技術)(OS10 加工計測・評価)
- 電磁型締め装置の分布定数モデリングと制御
- 高精度レーザ加工システム用XYステージの開発 (加工システム小特集)
- 高精度レーザ加工システム用XYステージの開発
- リニアモータXYステージを用いた高精度レーザ加工システム(第3報) : 高速加工ヘッドによるハイブリッドシステム
- サーフェイスモータXYステージの開発 (精密技術小特集)
- カルマンフィルタと外乱オブザーバを用いた超精密位置制御
- リニアモータXYステージを用いた高精度レーザ加工システム(第2報)-ステージの軌跡追従制御-
- リニアモータXYステージを用いた高精度レーザ加工システム
- 弾性ヒンジ案内を用いたリニアモータステージの開発
- レーザアニーリング用ステージの開発 (精密技術小特集)
- パラレルリンク方式を用いた加工作業用ハンド機構
- パラレルリンク式微動ステージの6自由度位置決め制御
- パラレルリンク式微動ステージの非干渉化設計
- 両頭研削機の送り軸系の非線形シミュレーション (加工システム小特集)
- サーフェスエンコーダを組込んだ多自由度サーフェスモータステージの研究:多自由度ステージシステムの構築
- 弾性変形を利用した空圧ダイリップ駆動機構の開発
- 連続時間H_∞制御系の有限時間整定
- サーフェイスモータを用いた超精密駆動機構に関する研究
- 電子部品製造装置におけるボールネジとリニアモータ送りの比較
- 空気圧アクチュエータの多自由度化可能性
- シリコンウエハ用超精密両頭研削装置の開発 (精密技術小特集)
- XYステージ (特集 事例で見る精密位置決めの最新動向) -- (事例)
- 電磁型締装置のモデリングと制御
- サーフェイスモータを用いた六自由度精密XYステージの開発
- サーフェスモータ(精密・超精密位置決めの現状と将来予想)
- リニアモータとボールネジの駆動特性評価 (光・量子技術 メカトロニクス技術 特集)
- 大規模テプリッツ型方程式に対する定常反復法の制御理論的考察と磁場解析への応用
- FPDプロセス用超大型・超精密位置決めステージの研究開発
- 事例3 製造装置におけるボールねじとリニアモータの特性比較 (特集 進展するリニアモータの産業応用)
- 射出成形機むけ加熱シリンダの非線形モデリングと低次元化