リニアモータとボールネジの駆動特性評価 (光・量子技術 メカトロニクス技術 特集)
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 : 第2報 装置性能の検証(剛性・運動精度)
- ナノメータ位置決めシステムの開発(第1報) : シミュレーションによる基礎的検討
- 両頭研削 (特集 硬脆材料の機械加工技術--付加価値の高い電子材料の加工) -- (シリコンウェハ工程別加工技術)
- Siウェハ用超精密両頭研削装置の開発 -第一報 システム構成と性能評価-
- φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 -第1報 超大口径ウェーハ用両頭研削装置の基礎検討-
- TMDを用いた真空用リニアモータステージの開発
- Sawyer型平面モータの精密位置決めに関する研究 : 位置決めシステムの提案と微小位置決め実験
- 305 サーフェスモータステージシステム用コントローラの研究([2]計測システムと応用技術)(OS10 加工計測・評価)
- 高精度レーザ加工システム用XYステージの開発
- リニアモータXYステージを用いた高精度レーザ加工システム(第3報) : 高速加工ヘッドによるハイブリッドシステム
- カルマンフィルタと外乱オブザーバを用いた超精密位置制御
- リニアモータXYステージを用いた高精度レーザ加工システム(第2報)-ステージの軌跡追従制御-
- リニアモータXYステージを用いた高精度レーザ加工システム
- 弾性ヒンジ案内を用いたリニアモータステージの開発
- パラレルリンク方式を用いた加工作業用ハンド機構
- パラレルリンク式微動ステージの6自由度位置決め制御
- パラレルリンク式微動ステージの非干渉化設計
- 両頭研削機の送り軸系の非線形シミュレーション (加工システム小特集)
- サーフェスエンコーダを組込んだ多自由度サーフェスモータステージの研究:多自由度ステージシステムの構築
- 弾性変形を利用した空圧ダイリップ駆動機構の開発
- サーフェイスモータを用いた超精密駆動機構に関する研究
- 空気圧アクチュエータの多自由度化可能性
- シリコンウエハ用超精密両頭研削装置の開発 (精密技術小特集)
- XYステージ (特集 事例で見る精密位置決めの最新動向) -- (事例)
- リニアモータとボールネジの駆動特性評価 (光・量子技術 メカトロニクス技術 特集)
- 事例3 製造装置におけるボールねじとリニアモータの特性比較 (特集 進展するリニアモータの産業応用)