清野 慧 | 精密測定研

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概要

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関連著者

• 清野 慧

  精密測定研

• 清野 慧

  京都大学

• 高 偉

  東北大学工学研究科

• 清野 慧

  東北大学大学院工学研究科

• 高 偉

  東北大学大学院工学研究科

• 清水 浩貴

  九州工業大学工学部

• 高 偉

  東北大工

• 清野 慧

  東北大工

• 高 偉

  東北大

• 田野 誠

  東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 田野 誠

  東北大学大学院

• 清野 慧

  東北大

• 清野 慧

  東北大学工学部

• 清水 浩貴

  東北大学大学院工学研究科

• 清水 浩貴

  東北大工

• 高 偉

  東北大学大学院

• 清水 浩貴

  東北大学大学院 工学研究科

• 渡辺 陽司

  東北大学大学院

• 古川 勝

  東北大学大学院

• 佐藤 隼人

  東北大学大学院工学研究科航空宇宙工学専攻

• 冨田 良幸

  住友重機械工業株式会社

• 斎藤 悠佑

  東北大学

• 古川 勝

  東北大院

• 荒井 義和

  東北大

• 齋藤 悠佑

  東北大学大学院

• 荒木 武

  (株)日立ディスプレイズ

• 工藤 康人

  東北大院

• 高 偉

  東北大学

• 木村 彰秀

  東北大学大学院

• 荒井 義和

  東北大学大学院工学研究科

• 鶴見 直也

  東北大学大学院

• 厨川 常元

  東北大工

• 厨川 常元

  東北大学

• 厨川 常元

  東北大工学部

• 吉川 泰生

  東北大

• 外川 一仁

  長岡工業高等専門学校

• 元木 健順

  東北大学大学院

• 渋谷 篤史

  東北大

• 広瀬 純

  交洋製作所

• 田野 誠

  東北大字大学院工学研究科ナノメカニクス専攻

• 佐々木 卓也

  住友重機械工業株式会社

• 竹島 雅之

  東北大学

• 澁谷 篤史

  東北大学

• 片倉 圭

  東北大院

• 出島 秀一

  関西大

• 富田 良幸

  住友重工

• 荒井 義和

  東北大院

• 佐藤 真路

  東北大

• 田野 誠

  東北大院

• 清野 慧

  精密測定研究所

• 青木 純

  東北大院

• 荒井 義和

  東北大学 大学院工学研究科

• 冨田 良幸

  住友重機械

• 佐々木 卓也

  住友重機械工業 平塚研

• Patten John

  西ミシガン大

• 木村 彰秀

  東北大

• 柳 和久

  長岡技術科学大学

• 田中 秀岳

  長岡技術科学大学工学部

• 伊藤 直幸

  長岡技術科学大学大学院

• 田中 秀岳

  長岡技術科学大学

• 清水 浩貴

  九州工業大学

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著作論文

• Dual正弦波格子型サーフェスエンコーダに関する研究 : 測定原理の提案と検証実験
• 403 スクロールの精密測定に関する研究 : 測定システムの構築(学生賞 III,2.学術講演)
• 長尺工具マイクロエッジ半径の高精度高速計測システムの開発
• 312 マイクロ非球面形状測定用プローブに関する研究 : シリカ球を用いたマイクロスタイラスの製作(OS-10 加工計測・評価)
• 高感度2軸マイクロ角度センサの開発
• スパイラル走査型AFMによる大面積3次元微細形状の高精度測定に関する研究
• 高速工具サーボによる大面積正弦波微細格子基準面の高精度創成 : 格子基準面ローカル領域の高精度化(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• 高速工具サーボによる大面積正弦波微細格子基準面の高精度創成 : 格子基準面ローカル領域の高精度化
• 光干渉型サーフェスエンコーダに関する研究
• Sawyer型平面モータの精密位置決めに関する研究 : 位置決めシステムの提案と微小位置決め実験
• 402 非球面形状測定に関する研究 : 自律校正法によるプローブ球形状の高精度化(学生賞 III,2.学術講演)
• 原子間力顕微鏡による大面積3次元微細形状測定に関する研究
• 305 サーフェスモータステージシステム用コントローラの研究([2]計測システムと応用技術)(OS10 加工計測・評価)
• 303 小型角度センサに関する研究([1]高精度マイクロ幾何学量計測)(OS10 加工計測・評価)
• 形状測定機能をもつナノ加工プローブの研究 : 加工プローブにおける加工評価実験(G13-2 機械加工および工作機械(2),G13 生産加工・工作機械部門)
• 超精密非球面加工機の運動誤差測定(第2報) : 運動誤差の機上測定実験(G13-2 機械加工および工作機械(2),G13 生産加工・工作機械部門)
• 516 円筒面大面積3次元微細形状の機上ナノ計測に関する研究 : センサの開発と評価実験(機械力学・計測制御)
• 基準のいらない精密測定法　多点法
• 知的精密測定(3.1 各分野の現状,3.精密工学の今,創立75周年記念)
• 312 AFMによる大面積三次元微細形状の高精度測定に関する研究 : リニアエンコーダによる横方向精度向上(生産加工)
• 311 形状測定機能をもつナノ加工プローブの研究 : 切削方向における周波数特性の向上(生産加工)
• 参照平板の横シフトおよび逐次二点法を用いた真直度輪郭測定

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