高速工具サーボによる大面積正弦波微細格子基準面の高精度創成 : 格子基準面ローカル領域の高精度化
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概要
著者
-
高 偉
東北大学工学研究科
-
清野 慧
東北大学工学部
-
荒木 武
(株)日立ディスプレイズ
-
田野 誠
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
-
田野 誠
東北大学大学院
-
清野 慧
京都大学
-
清野 慧
精密測定研
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