312 マイクロ非球面形状測定用プローブに関する研究 : シリカ球を用いたマイクロスタイラスの製作(OS-10 加工計測・評価)
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概要
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Necessity of small and accurate aspheric lens is increasing in medical service and optical communication. To measure such lens, micro-stylus whose tip ball is less than several of micrometers in diameter is necessary. This paper describes the development of a micro stylus with tip balls of 10μm and 50μm in diameter, respectively. The tip balls are silica spheres which feature of high accuracy and affordable price. The silica sphere is glued to the end of the stylus made of stainless steel, which serves as the probe of an air-bearing displacement sensor. Surface profile measurement of an aspheric lens is carried out by the micro-probe.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2006-11-24
著者
-
高 偉
東北大学大学院工学研究科
-
清野 慧
東北大学大学院工学研究科
-
高 偉
東北大学工学研究科
-
吉川 泰生
東北大
-
高 偉
東北大
-
渋谷 篤史
東北大
-
清野 慧
東北大
-
清野 慧
京都大学
-
清野 慧
精密測定研
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