155 超精密加工機運動誤差の精密測定に関する研究(ロボティクス・メカトロニクス/機械力学・計測制御)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2009-03-13

著者

• 荒井 義和

  東北大学大学院工学研究科

• 高 偉

  東北大学大学院工学研究科

• 李 貞徹

  東北大

• 盧 泳辰

  東北大

• 高 偉

  東北大

• 荒井 義和

  東北大

• 李 貞徹

  東北大院

• 盧 泳辰

  東北大院

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