134 エアベアリング変位センサーを用いたマイクロ形状機上測定に関する研究(材料力学IV/情報・知能・精密機器/機械力学・計測制御,一般講演)

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概要

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• 2011-03-15

著者

• 高 偉

  東北大

• 李 康源

  東北大院

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