S1303-2-4 非分割型PDを用いた高感度角度センサに関する研究(加工計測・評価システム(2))
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概要
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This paper describes a highly sensitive two-axis angle sensor by using a single cell photodiode for measurement of surface profiles and error motions. The sensor, which is based on the principle of the laser autocollimation, employs a laser diode as the light source. The reflected beam from the target surface is received by an autocollimation unit consisting of an objective lens and a light spot position-sensing detector located at the focal position of the lens. It is confirmed that the sensor sensitivity depends on the spot size on the focal position and a single cell photodiode is employed as the light spot position-sensing detector to sense the position of the light spot at the focal position. A prototype two-axis angle sensor with a dimensional of 65 mm (W) × 70 mm (L) × 40 mm (H) is designed and constructed. Experimental results have shown that the sensor has a sensitivity of ±3 %/arc-seconds and a resolution of ±0.03 arc-seconds.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2009-09-12
著者
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荒井 義和
東北大学大学院工学研究科
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高 偉
東北大学大学院工学研究科
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高 偉
東北大
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斎藤 悠佑
東北大学
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荒井 義和
東北大
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鈴木 達郎
東北大学
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齋藤 悠佑
東北大学大学院
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荒井 義和
東北大学 大学院工学研究科
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高 偉
東北大学
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