189 モザイクXY格子用光干渉型サーフェスエンコーダに関する研究 : マルチプローブ型光学系の提案と原理確認実験(生産加工・工作機械II,一般講演)

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概要

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• 2010-03-12

著者

• 高 偉

  東北大

• 木村 彰秀

  東北大

• 細野 幸治

  東北大

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