S1303-2-5 3次元マイクロ形状測定用スタイラスに関する研究(加工計測・評価システム(2))
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概要
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Three-dimensional micro-structured surface including a micro gear and aspheric lens is used for industrial robots, medical devices, and optical as well as printing equipments and so on. To measure such surface profile, micro-stylus whose tip ball is less than several micrometers in diameter is necessary. This paper describes the development of a micro-stylus with tip balls of 30μm in diameter. The tip ball is silica spheres with feature of high accuracy and affordable price. Additionally, to reduce the effect of stick-slip oscillation caused by friction, which is crucial problem, we developed a micro-tapping stylus using PZT actuator. Using the micro-tapping stylus, surface profile measurement of a micro gear is carried out.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2009-09-12
著者
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