フィゾー干渉形状測定機の自律校正

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 1999-09-01

著者

• 高 偉

  東北大

• 清野 慧

  東北大

• 孫 洋

  富士写真

• 強 学鋒

  東北大院

関連論文

• 回折光干渉型XYZ3軸変位センサに関する研究
• 超精密位置決めのための変位センサ (特集 機械設計者のための 精密位置決め機構設計--最新事例で学ぶ高精度化,高速化,低コスト化の実現)
• S1303-1-2 超精密旋盤の運動誤差測定に関する研究 : スライド運動誤差測定のための回転型反転法の提案(加工計測・評価システム(1))
• 多軸サーフェスエンコーダの基礎
• S1303-2-4 非分割型PDを用いた高感度角度センサに関する研究(加工計測・評価システム(2))
• 312 マイクロ非球面形状測定用プローブに関する研究 : シリカ球を用いたマイクロスタイラスの製作(OS-10 加工計測・評価)
• 305 サーフェスモータステージシステム用コントローラの研究([2]計測システムと応用技術)(OS10 加工計測・評価)
• 形状測定機能をもつナノ加工プローブの研究 : 加工プローブにおける加工評価実験(G13-2 機械加工および工作機械(2),G13 生産加工・工作機械部門)
• 逐次2点法の功罪
• サーフェスエンコーダによる5自由度位置・姿勢の同時計測
• S1303-2-5 3次元マイクロ形状測定用スタイラスに関する研究(加工計測・評価システム(2))
• 312 小型ファストツールサーボの製作と評価
• 干渉計によるサブナノメートルの変位測定制度の保証
• 3軸角度センサに関する研究 : 測定原理の提案と検証実験
• 高感度高速に計測する光学式角度センサ (特集 革新的センシング技術)
• 155 超精密加工機運動誤差の精密測定に関する研究(ロボティクス・メカトロニクス/機械力学・計測制御)
• 知的精密計測の必要性
• 知的・ナノインプロセス計測の展望
• 16・1 概論(16.加工学・加工機器,機械工学年鑑)
• S1303-2-3 マイクロリニアステージに関する研究(加工計測・評価システム(2))
• S1303-1-5 ダイヤモンド切削工具の精密測定に関する研究 : 光プローブによる工具エッジの位置決めに関するシミュレーション(加工計測・評価システム(1))
• 178 電磁アクチュエータによる高速工具制御(産業・化学機械と安全/生産システム/生産加工・工作機械/環境工学)
• マイクロ切削工具切れ刃形状の三次元測定装置に関する研究 : ―測定装置の構築と切れ刃形状測定実験―
• 精密3次元マイクロ形状の知的計測
• マイクロ非球面の精密ナノ計測
• 2802 非球面形状のオンマシン測定(第 2 報) : 接触式プローブ先端球形状誤差の校正
• 2809 高精度角度センサの研究
• 3217 軟組織中の異物検出用センサに関する研究
• 2次元角度センサを用いた面内変位検出機構の開発に関する研究
• 角度情報をベースとした多自由度の位置・姿勢検出法
• 2次元角度センサを用いた多自由度精密位置検出手法の研究
• 高精度容量型変位計のその場自律校正に関する研究
• 401 サーフェスエンコーダによる位置・姿勢 5 自由度検出についての研究 : 検出誤差の低減
• 16・8 加工計測(16.加工学・加工機器,機械工学年鑑)
• 精密工学会東北支部 近况報告(JSPEだより)
• 干歩計による球面形状の精密測定法-円周方向測定のための2方位4点法-
• 2次元表面形状測定に関する研究 2次元ソフトウェアデータム構築用プローブ
• 145 光スポット走査型角度センサによる位置検出の研究
• 186 FS-FTC装置による超精密加工機上形状計測に関する研究(生産加工・工作機械I,一般講演)
• 311 形状測定機能をもつナノ加工プローブの研究 : 切削方向における周波数特性の向上(生産加工)
• 189 モザイクXY格子用光干渉型サーフェスエンコーダに関する研究 : マルチプローブ型光学系の提案と原理確認実験(生産加工・工作機械II,一般講演)
• 188 平面ステージ姿勢計測用光学式角度センサに関する研究(生産加工・工作機械II,一般講演)
• 187 超精密走査型プローブ顕微鏡に関する研究 : 測定装置の構築と形状測定実験(生産加工・工作機械II,一般講演)
• フィゾー干渉形状測定機の自律校正
• 405 カーボンナノチューブを用いた高精度走査プローブ顕微鏡の研究 : 自己検知型原子間力顕微鏡の構成
• 407 干渉顕微鏡の3次元校正に関する研究 : XY軸方向誤差の自律校正(OS11 計測・評価)
• 418 干渉計による球面形状の精密測定法(第2報)座標変換精度の向上(精密加工・測定・生産システム)
• 134 エアベアリング変位センサーを用いたマイクロ形状機上測定に関する研究(材料力学IV/情報・知能・精密機器/機械力学・計測制御,一般講演)

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク