407 干渉顕微鏡の3次元校正に関する研究 : XY軸方向誤差の自律校正(OS11 計測・評価)
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概要
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Accuracy of conventional interferometric methods for three-dimensional surface profiling is limited by errors of intrinsic metrics inside interferometric microscopes. A simple technique of XY axes calibration is proposed to measure those intrinsic errors resulted from CCD pixel arrays and objective lens distortion. In this self-calibration technique, a inclined plane is used as the specimen. Two sets of profile measurement data before and after a small shift of the specimen in the X (Y) axis direction are used to obtain the calibration curve concerning the intrinsic errors. Test results based on computer simulation are reported.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-11-20
著者
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