303 小型角度センサに関する研究([1]高精度マイクロ幾何学量計測)(OS10 加工計測・評価)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
This paper presents a compact and high-sensitive angle sensor suitable for measurement of stage angular motions, such as pitching and yawing. The compact angle sensor is based on laser autocollimation for angle detection. To maintain the high sensitivity while miniaturizing the sensor size, the relationship between the spot size on the focal plane of the objective lens and the output of the photodetector with separate elements (bi-cell PD and quadrant PD) is analyzed with wave optics. A compact sensor is also developed based on the analysis result. Experiments have shown that the compact sensor has a resolution of 0.01 arc-seconds.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2004-11-19
著者
-
佐藤 隼人
東北大学大学院工学研究科航空宇宙工学専攻
-
高 偉
東北大学工学研究科
-
高 偉
東北大工
-
清野 慧
東北大工
-
斎藤 悠佑
東北大学
-
清水 浩貴
九州工業大学工学部
-
齋藤 悠佑
東北大学大学院
-
清水 浩貴
東北大工
-
清野 慧
京都大学
-
清野 慧
精密測定研
関連論文
- Dual正弦波格子型サーフェスエンコーダに関する研究 : 測定原理の提案と検証実験
- ハイブリッドシミュレータを用いた浮遊ターゲット捕獲の接触力学解析(機械力学,計測,自動制御)
- 815 マルチプローブ型円筒形状測定機におけるプローブの最適配置
- マルチプローブ型円筒形状測定機の開発
- マルチプローブ型円筒形状測定機の開発
- マルチプローブ型円筒形状測定機の開発(第3報) : 多断面法による測定
- マルチプローブ型円筒形状測定機の開発(第2報):測定結果の誤差評価
- マルチプローブ型円筒形状測定機の開発(第1報) : 観測方程式と実験装置
- 長尺円筒の真直度測定に関する研究 : 異なる測定法による比較実験
- 長ストロークと高精度位置決めを両立する連係微動(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 署名識別システムに関する研究 : 筆圧3分力検出用電子ペンの試作
- 403 スクロールの精密測定に関する研究 : 測定システムの構築(学生賞 III,2.学術講演)
- S1303-2-4 非分割型PDを用いた高感度角度センサに関する研究(加工計測・評価システム(2))
- 長尺工具マイクロエッジ半径の高精度高速計測システムの開発
- 312 マイクロ非球面形状測定用プローブに関する研究 : シリカ球を用いたマイクロスタイラスの製作(OS-10 加工計測・評価)
- 高感度2軸マイクロ角度センサの開発
- スパイラル走査型AFMによる大面積3次元微細形状の高精度測定に関する研究
- 高速工具サーボによる大面積正弦波微細格子基準面の高精度創成 : 格子基準面ローカル領域の高精度化(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 高速工具サーボによる大面積正弦波微細格子基準面の高精度創成 : 格子基準面ローカル領域の高精度化
- 非接触式変位センサによる精密ナノ計測制御
- 大面積3次元微細形状の高精度加工計測システム
- 光干渉型サーフェスエンコーダに関する研究
- Sawyer型平面モータの精密位置決めに関する研究 : 位置決めシステムの提案と微小位置決め実験
- 402 非球面形状測定に関する研究 : 自律校正法によるプローブ球形状の高精度化(学生賞 III,2.学術講演)
- 原子間力顕微鏡による大面積3次元微細形状測定に関する研究
- 305 サーフェスモータステージシステム用コントローラの研究([2]計測システムと応用技術)(OS10 加工計測・評価)
- 303 小型角度センサに関する研究([1]高精度マイクロ幾何学量計測)(OS10 加工計測・評価)
- 形状測定機能をもつナノ加工プローブの研究 : 加工プローブにおける加工評価実験(G13-2 機械加工および工作機械(2),G13 生産加工・工作機械部門)
- 超精密非球面加工機の運動誤差測定(第2報) : 運動誤差の機上測定実験(G13-2 機械加工および工作機械(2),G13 生産加工・工作機械部門)
- ナノスケールの知的計測の確立を目指して(知的ナノ計測研究分科会)(専門委員会・分科会研究レビュー)
- ナノ計測戦略(ソフトウェア)-精密ナノ計測フロンティア
- 高精度長尺工具の精密測定に関する研究 : CDDカメラを用いたスリット幅測定
- サーフェスエンコーダによる5自由度位置・姿勢の同時計測
- マルチスポット光源を用いたサーフェスエンコーダの研究
- 多自由度の位置と姿勢の精密検出法の研究 : 走査型角度センサによる角度格子読取り
- 角度情報をベースとする多自由度位置・姿勢検出法の研究 : マルチスポット光源の採用による位置検出精度向上
- 高精度長尺塗布工具のスリット幅測定に関する研究
- 波動歯車装置の精密形状測定に関する研究:歯切り量偏差の機上測定装置
- Harmonic Drive Gearsの精密形状測定に関する研究 : レーザー変位計による歯底形状測定
- 516 円筒面大面積3次元微細形状の機上ナノ計測に関する研究 : センサの開発と評価実験(機械力学・計測制御)
- 312 小型ファストツールサーボの製作と評価
- 基準のいらない精密測定法 多点法
- 知的精密測定(3.1 各分野の現状,3.精密工学の今,創立75周年記念)
- 312 AFMによる大面積三次元微細形状の高精度測定に関する研究 : リニアエンコーダによる横方向精度向上(生産加工)
- 3軸角度センサに関する研究 : 測定原理の提案と検証実験
- 高感度高速に計測する光学式角度センサ (特集 革新的センシング技術)
- 511 バルブスリーブの内部欠陥の迅速検査に関する研究
- 知的精密計測の必要性
- 知的・ナノインプロセス計測の展望
- 2. 加工技術の研究状況 : 2・7 加工計測(機械工学年鑑(1993年)加工学・加工機器)
- マイクロ切削工具切れ刃形状の三次元測定装置に関する研究 : ―測定装置の構築と切れ刃形状測定実験―
- 310 超精密非球面加工機の運動誤差測定 : 静圧スライドテーブルの真直度及びローリング誤差測定(生産加工)
- 2802 非球面形状のオンマシン測定(第 2 報) : 接触式プローブ先端球形状誤差の校正
- 干渉計による平面形状の絶対測定法の理論的研究
- 2809 高精度角度センサの研究
- 角度3点法による真円度と回転誤差測定に関する研究 : 第1報 角度3点法による真円度測定
- 2次元角度センサのその場自律校正 : 真円度および回転運動測定システムにおける校正
- サーフェスエンコーダを組込んだ多自由度サーフェスモータステージの研究:多自由度ステージシステムの構築
- 3217 軟組織中の異物検出用センサに関する研究
- SPMの高精度化手法の提案とその液中作動型AFMへの適用
- ナノメートル領域の計測 (特集 ナノテクノロジーの最新開発動向)
- 精密移動体のローリング計測・制御
- 座標測定機の自律校正法の研究 : 第3報 不等間隔プロービングによる自律校正
- 座標測定機の自律校正法の研究:第2報座標測定機への適用
- 生体軟組織の硬度分布測定に関する研究:硬度分布測定センサの提案と基礎的実験
- 自律的形状創成法のためのインプロセス測定プローブの開発
- インプロセス測定器を用いた形状の自律的創成に関する基礎研究
- 干渉顕微鏡の高さ方向誤差のその場自律校正法
- 401 サーフェスエンコーダによる位置・姿勢 5 自由度検出についての研究 : 検出誤差の低減
- サーフェスモータ駆動型多自由度ステージの位置決めの研究(第2報) : ステージのダイナミック制御による微小位置決め実験
- サーフェスモータ駆動型多自由度ステージの位置決めの研究 : 第1報サーフェスエンコーダを用いた位置検出システムの構築
- サーフェスモータ駆動型多自由度ステージの位置決めの研究 : 第2報 微小位置決め制御につてい
- 自律的位置検出に関する基礎的研究
- 大面積3次元マイクロストラクチャの高精度創成と評価
- 509 2次元角度格子の高精度創成に関する研究(第1報) : 2D-DFTによる2次元角度格子の評価(加工・生産機器)
- 2A2-L08 宇宙ステーション搭載アームによるターゲット捕獲時の接触力学解析(宇宙ロボット・メカトロニクス)
- 合成法による形状測定に関する研究 : 基準領域選択の最適化と自動化
- 319 微細パターン創成におけるインプロセス力計測の研究(第 1 報)
- 2次元ソフトウェアデータムによる超精密鏡面形状の絶対測定
- 145 光スポット走査型角度センサによる位置検出の研究
- 角度情報を用いた真円度測定に関する研究(第2報) : 角度3点法と変位3点法との比較
- 311 形状測定機能をもつナノ加工プローブの研究 : 切削方向における周波数特性の向上(生産加工)
- インプロセス形状測定機能を有するマイクロ加工プローブの設計
- 188 平面ステージ姿勢計測用光学式角度センサに関する研究(生産加工・工作機械II,一般講演)
- 2次元変位センサの自律校正法に関する研究
- 405 カーボンナノチューブを用いた高精度走査プローブ顕微鏡の研究 : 自己検知型原子間力顕微鏡の構成
- 407 干渉顕微鏡の3次元校正に関する研究 : XY軸方向誤差の自律校正(OS11 計測・評価)
- 418 干渉計による球面形状の精密測定法(第2報)座標変換精度の向上(精密加工・測定・生産システム)
- 3519 2 次元角度格子製作システムの開発(第 2 報) : 2 次元角度格子創成の高精度化
- 多点法による長尺円筒の精密計測に関する研究 : ゼロ点誤差のリアルタイム補正
- ソフトウェアデータムによる真円度測定に関する研究(第2報) : 光学式センサと真円度測定結果
- 自律校正法によるロバストなセンシング技術(ロバストなセンシング技術)
- 参照平板の横シフトおよび逐次二点法を用いた真直度輪郭測定