清野 慧 | 東北大
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概要
関連著者
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清野 慧
東北大
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清野 慧
東北大学大学院工学研究科
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高 偉
東北大
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清野 慧
京都大学
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高 偉
東北大学工学研究科
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高 偉
東北大学大学院工学研究科
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小倉 一朗
機械技術研究所
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小倉 一朗
東北大(院)
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清野 慧
精密測定研
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三好 隆志
阪大
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清野 慧
東北大工
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清水 浩貴
九州工業大学工学部
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清水 浩貴
東北大学大学院工学研究科
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出島 秀一
関西大
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工藤 康人
東北大院
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三井 公之
慶大理工
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葛 宗涛
東北大学大学院
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三井 公之
慶大
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強 学鋒
東北大院
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清水 浩貴
東北大 大学院工学研究科
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厨川 常元
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
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西野 洋一
:(現)旭硝子(株)
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冨田 良幸
住友重機械工業株式会社
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奥山 栄樹
秋田大
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奥山 栄樹
秋田大学工学資源学部
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吉川 泰生
東北大
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奥山 栄樹
秋田大学 工学資源学部
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荒井 義和
東北大
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中島 真一
東北大院
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厨川 常元
東北大 工
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渋谷 篤史
東北大
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田野 誠
東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻
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片倉 圭
東北大院
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富田 良幸
住友重工
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荒井 義和
東北大院
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清水 裕樹
東北大(院)
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青木 純
東北大学反応化学研究所
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星野 唯
ニコン(株)
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星野 唯
東北大学大学院
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田野 誠
東北大学大学院
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田野 誠
東北大院
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水戸 正美
東北大
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葛 宗涛
東北大 (院)
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西野 洋一
東北大 (院)
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大沼 孝真
東北大学大学院
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大沼 孝真
東北大院
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出島 秀一
東北大院
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蔡 萍
東北大
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小倉 一朗
東北大 工
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張 世宙
東北大
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強 学鋒
東北大(院)
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葛 宗涛
東北大(院)
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孫 洋
富士写真
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Patten John
西ミシガン大
著作論文
- 312 マイクロ非球面形状測定用プローブに関する研究 : シリカ球を用いたマイクロスタイラスの製作(OS-10 加工計測・評価)
- 305 サーフェスモータステージシステム用コントローラの研究([2]計測システムと応用技術)(OS10 加工計測・評価)
- 形状測定機能をもつナノ加工プローブの研究 : 加工プローブにおける加工評価実験(G13-2 機械加工および工作機械(2),G13 生産加工・工作機械部門)
- 逐次2点法の功罪
- サーフェスエンコーダによる5自由度位置・姿勢の同時計測
- 312 小型ファストツールサーボの製作と評価
- 干渉計によるサブナノメートルの変位測定制度の保証
- 知的精密計測の必要性
- 知的・ナノインプロセス計測の展望
- 2802 非球面形状のオンマシン測定(第 2 報) : 接触式プローブ先端球形状誤差の校正
- 2809 高精度角度センサの研究
- 3217 軟組織中の異物検出用センサに関する研究
- 2次元角度センサを用いた面内変位検出機構の開発に関する研究
- 角度情報をベースとした多自由度の位置・姿勢検出法
- 2次元角度センサを用いた多自由度精密位置検出手法の研究
- 高精度容量型変位計のその場自律校正に関する研究
- 401 サーフェスエンコーダによる位置・姿勢 5 自由度検出についての研究 : 検出誤差の低減
- 干歩計による球面形状の精密測定法-円周方向測定のための2方位4点法-
- 2次元表面形状測定に関する研究 2次元ソフトウェアデータム構築用プローブ
- 145 光スポット走査型角度センサによる位置検出の研究
- 311 形状測定機能をもつナノ加工プローブの研究 : 切削方向における周波数特性の向上(生産加工)
- フィゾー干渉形状測定機の自律校正
- 405 カーボンナノチューブを用いた高精度走査プローブ顕微鏡の研究 : 自己検知型原子間力顕微鏡の構成