張 世宙 | 東北大
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概要
関連著者
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張 世宙
東北大
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張 世宙
東北大学大学院工学研究科
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清野 慧
東北大学大学院工学研究科
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宇田 豊
(株)ニコン
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宇田 豊
(株)ニコンcmp事業室
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清野 慧
東北大学工学部
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張 世宙
東北大学
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水戸 正美
東北大
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宇田 豊
ニコン株式会社
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小山 直
東北大学大学院
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馬 軍山
東北大学大学院特別研究生
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張 世宙
東北大学工学部
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水戸 正美
東北大学
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高 偉
東北大学大学院工学研究科
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高 偉
東北大学工学研究科
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高 偉
東北大
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清野 慧
東北大
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小山 直
東北大学工学研究科
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清野 慧
東北大 工
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水戸 正美
東北大学工学部
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張 世宙
東北大 工
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強 学鋒
東北大(院)
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強 学鋒
東北大院
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高 偉
東北大学大学院
著作論文
- ローリングの超精密計測と制御に関する研究
- 精密移動体のローリング計測・制御
- ナノラジアン角度センサの開発とその自律校正
- ポリゴン鏡面の角度形状と割出し角度の走査ビーム径による変化
- ポリゴン鏡面の角度形状誤差測定システムの開発
- 精密角度基準の自律校正に関する研究(第2報)-測定の高精度化とその誤差の分析-
- 静電容量型傾斜角度センサの開発-センサの構造とそのインタフェース回路-
- 干歩計による球面形状の精密測定法-円周方向測定のための2方位4点法-
- 角度センサの平均感度の迅速校正法に関する研究
- 回転速度の計測における半導体レーザの自己混合干渉の解析
- ナノラジアン角度センサの開発とその自律校正(第3報) -測定範囲の小さい角度センサの平均感度の校正法-
- ナノラジアン角度センサの開発とその自律校正(第2報) 角度変位シフト量のドリフトによる校正誤差の修正法-
- 超精密角度センサの開発 : 光源部の温度ドリフトの補正
- 角度センサの高精度自立的校正法の研究