宇田 豊 | (株)ニコンcmp事業室
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概要
関連著者
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宇田 豊
(株)ニコン
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宇田 豊
(株)ニコンcmp事業室
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河野 嗣男
東京都立科学技術大学
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河野 嗣男
東京都立科学技術大学 機械システム工学科
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矢澤 孝哲
新潟大学
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矢澤 孝哲
東京都立科学技術大学
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張 世宙
東北大
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大野 直弘
コニカ(株)
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松本 大司
東京都立科学技術大学
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細越 剛史
東京都立科学技術大学
-
大野 直弘
東京都立科学技術大学
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宇田 豊
東京都立科学技術大学
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松本 大司
東京都立科学技術大学:(現)(株)ニコン
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清野 慧
東北大学工学部
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細越 剛史
東京都立科学技術大学:(現)富士通(株)
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張 世宙
東北大学大学院工学研究科
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宇田 豊
ニコン株式会社
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清野 慧
東北大学大学院工学研究科
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菅野 知明
東京都立科学技術大学
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山本 栄一
(株)ニコンCMP事業室プロセス技術課
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水戸 正美
東北大
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小山 直
東北大学大学院
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張 世宙
東北大学工学部
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高 偉
東北大学大学院工学研究科
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森田 昌彦
東京都立科学技術大学:(現)石川島播磨重工(株)
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林 豊
(株)ニコンcmp事業室開発部
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石川 彰
株式会社 ニコン
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河野 慎一
富士写真光機(株)
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山崎 俊文
東京都立科学技術大学
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河野 慎一
東京都立科学技術大学
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三井 貴彦
株式会社 ニコン
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高 偉
東北大学工学研究科
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星野 進
(株)ニコンcmp事業室
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宇根 篤暢
防衛大学校 機械工学科
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鈴木 尚
(株)古河電工
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宇田 豊
株式会社 ニコン
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千賀 達也
株式会社 ニコン
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山本 栄一
株式会社 ニコン
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馬 軍山
東北大学大学院特別研究生
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小山 直
東北大学工学研究科
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清野 慧
東北大 工
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宇田 豊
株式会社ニコンCMP事業室
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水戸 正美
東北大学
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水戸 正美
東北大学工学部
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張 世宙
東北大 工
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宇根 篤暢
防衛大学校システム工学群機械工学科
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永野 浩量
東京都立科学技術大学
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宇田 豊
日本光学工業
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山崎 俊文
東京都立科学技術大学:(現)日立電線(株)
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宇根 篤暢
防衛大学校
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永野 浩量
東京都立科学技術大学:(現)三菱電機(株)
-
張 世宙
東北大学
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高 偉
東北大学大学院
著作論文
- ラジアルシェア干渉計によるオンマシン測定
- インプロセス計測加工精度補償の研究(第6報) : 正面切削における制御開始位置と変位計配置位置の影響
- 加工面基準法によるインプロセス計測制御 -基準面参照制御加工法による加工面基準法の初期参照面の高精度加工と全体面への制御加工-
- 加工面基準法によるインプロセス計測制御 -D-MTSによる平面全体への加工制御-
- 中心部分を参照面とした凹面鏡干渉形状測定-ラジアルシェア干渉計による形状測定-
- 加工面基準法によるインプロセス計測制御(第7報) -WORFACの球面加工への適応-
- インプロセス計測加工精度補償の研究(第5報) : 工具-変位計オフセット量の残留形状誤差への影響と補正制御できない特異点の除去対策
- インプロセス計測加工精度補償の研究(第4報) : 第一参照面誤差収束と外乱除去に対する補正制御係数mの特性
- ラジアルシェア干渉計によるオンマシン測定
- 技能を感じさせないCMP装置をめざして(技術立国日本がめざす21世紀のモノづくり)
- 2. 加工技術の研究状況 : 2・7 加工計測 (機械工学年鑑(1995年)加工学・加工機器)
- ファイバーグレーティングハルトマンテストによる鏡面形状計測 : 鏡面切削中におけるインプロセス計測
- ディジタル研磨方法の開発 : ステップ揺動パターンへの適応
- 次世代CMP装置の開発 : 超低圧研磨,ローカル研磨技術の開発(2003年度(23回)精密工学会技術賞)
- ローリングの超精密計測と制御に関する研究
- 精密移動体のローリング計測・制御
- 「次世代CMP装置の開発」にまつわる話(こぼれ話と苦労話)(2003年度(23回)精密工学会技術賞)
- CMP装置の最新の動向 (特集1 半導体平坦化CMP技術)
- 新しいコンンセプトのCMP研磨装置「NPS2301/NPS3301」 (全冊特集 300mm/130nm対応の半導体製造装置)
- ナノラジアン角度センサの開発とその自律校正
- ポリゴン鏡面の角度形状と割出し角度の走査ビーム径による変化
- ポリゴン鏡面の角度形状誤差測定システムの開発
- 精密角度基準の自律校正に関する研究(第2報)-測定の高精度化とその誤差の分析-
- インプロセス計測加工精度補償の研究(第3報) : 汎用旋盤を用いた円筒切削の制御
- 主軸の回転精度測定の高精度化に関する研究--反転法を用いた測定
- 測定に対する夢(正月の夢 : 基礎研究に対する会員の声)(これからの日本の基礎研究)