山本 栄一 | (株)ニコンCMP事業室プロセス技術課

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関連著者

• 山本 栄一

  (株)ニコンCMP事業室プロセス技術課

• 宇田 豊

  (株)ニコン

• 宇田 豊

  (株)ニコンcmp事業室

• 宇根 篤暢

  防衛大学校 機械工学科

• 宇根 篤暢

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  (株)ニコンcmp事業室開発部

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  株式会社 ニコン

• 三井 貴彦

  株式会社 ニコン

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  (株)ニコンcmp事業室

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  防衛大学校 機械工学科

• 吉冨 健一郎

  防衛大学校 機械工学科

• 宇田 豊

  株式会社 ニコン

• 千賀 達也

  株式会社 ニコン

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  防衛大学校

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著作論文

• ディジタル研磨方法の開発 : ステップ揺動パターンへの適応
• 次世代CMP装置の開発 : 超低圧研磨,ローカル研磨技術の開発(2003年度(23回)精密工学会技術賞)
• 枚葉式装置における揺動研磨(第4報):等速揺動研磨時の加工形状

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