吉冨 健一郎 | 防衛大学校 機械工学科
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概要
関連著者
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吉冨 健一郎
防衛大学校 機械工学科
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吉冨 健一郎
防衛大学校
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餅田 正秋
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杉浦 秀樹
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後藤 賢次
元防衛大学校
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松井 伸介
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
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松井 伸介
NTT境界領域研究所
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松井 伸介
日本電信電話(株)
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宇根 篤暢
防衛大学
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千賀 達也
株式会社 ニコン
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山本 栄一
(株)ニコンCMP事業室プロセス技術課
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千賀 達也
(株)ニコン
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新城 啓慎
(株)ニコン
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松井 伸介
Ntt フォトニクス研
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元防衛大学校
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プラユーン ガンユー
防衛大学校 機械工学科
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ユーン プラ
防衛大学校 機械工学科
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吉冨 健一郎
防衛大
著作論文
- すきま理論に基づくラッピングシミュレーション(第2報) : —小型工具による揺動ラッピング—
- すきま理論に基づくラッピングシミュレーション(第1報) : —試料・工具の接触状態と相対弾性定数—
- 研磨による大口径ウエハの形状修正(第3報) : スラリー量の影響
- 揺動速度制御型連続研削・研磨装置の開発(第2報) : 研削による軸対称形状創成と揺動速度制御研磨による形状修正
- 408 小形工具を用いた揺動研磨
- 揺動速度制御型連続研削・研磨装置の開発(第6報):研削形状に影響を与える要因
- 揺動速度制御型連続研削・研磨装置の開発(第5報) : 連続研削における加工形状劣化の検討
- 矩形ガラス材の高平坦化研磨加工(第1報) : 直線揺動法による矩形平面の創成シミュレーション
- 小形工具による大口径ウエハの形状修正研磨 : 第2報 : ポリシャ平坦度の加工精度への影響とポリシャ劣化の抑制
- 矩形ガラス材の高平坦化研磨加工(第2報) : 研削による中心軸対称形状創成と研磨シミュレーションにおける工具傾斜補正
- 小径工具を用いた揺動研磨におけるスラリ流量の低減
- 修正研磨による大口径ウエハの高平坦化(第1報) : ウエハとポリシャ間の圧力分布と接触状態
- ブラスト加工によるポーラス材上へのピン形成
- 高さ調節可能なリテーナ機構を用いた新揺動研磨法
- 小形工具による揺動速度制御研磨加工(第3報) : はみ出し加工時における圧力分布と形状
- 静圧シール型真空ピンチャックの開発
- 小形工具による大口径ウエハの形状修正研磨第1報 : シミュレーションによる最適研磨条件の検討
- 真空ピンチャックによる凹凸ウエハの矯正能力(第4報) : 8インチチャックの周辺矯正能力
- 研磨による大口径ウエハの形状修正(第2報) : ポリシャ形状の影響
- CMPポリシャのドレッシング(第1報) : ポリシャ表面状態に及ぼすドレッシング条件の影響
- 枚葉式装置における揺動研磨(第4報):等速揺動研磨時の加工形状
- 「揺動研磨の研究」のこぼれ話
- 真空ピンチャックによる凹凸ウエハの矯正能力 : (第3報)周辺矯正能力