小形工具による大口径ウエハの形状修正研磨 : 第2報 : ポリシャ平坦度の加工精度への影響とポリシャ劣化の抑制
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2009-02-01
著者
-
宇根 篤暢
防衛大学校 機械工学科
-
餅田 正秋
防衛大学校 機械工学科
-
吉冨 健一郎
防衛大学校 機械工学科
-
餅田 正秋
防衛大
-
宇根 篤暢
防衛大学校
-
宇根 篤暢
防衛大
-
餅田 正秋
防衛大学校
-
吉冨 健一郎
防衛大学校
関連論文
- 研削-ポリシングによるプラナリゼーション
- 低圧高速条件における平坦化研磨特性
- すきま理論に基づくラッピングシミュレーション(第2報) : —小型工具による揺動ラッピング—
- すきま理論に基づくラッピングシミュレーション(第1報) : —試料・工具の接触状態と相対弾性定数—
- 研磨による大口径ウエハの形状修正(第3報) : スラリー量の影響
- 真空ピンチャックの吸着特性(第3報) : ピン先端とウエハ裏面との接触
- 真空ピンチャックによる平面矯正(第6報)-ピン支持研磨によるディンプル発生のメカニズム-
- 真空ピンチャックの吸着特性(第2報) : 裏面うねりの表面平坦度への影響の低減
- 真空ピンチャックの吸着特性(第1報) : 裏面うねりの表面平坦度への影響
- ねじ状砥石による角形スプライン軸の研削加工
- ねじ状砥石によるはす歯の創成加工機構
- 揺動速度制御型連続研削・研磨装置の開発(第2報) : 研削による軸対称形状創成と揺動速度制御研磨による形状修正
- 408 小形工具を用いた揺動研磨
- 揺動速度制御型連続研削・研磨装置の開発(第6報):研削形状に影響を与える要因
- 揺動速度制御型連続研削・研磨装置の開発(第5報) : 連続研削における加工形状劣化の検討
- 次世代CMP装置の開発 : 超低圧研磨,ローカル研磨技術の開発(2003年度(23回)精密工学会技術賞)
- 金属円板によるCVDダイヤモンドの研磨機構
- 金属円盤によるCVDダイヤモンドの研磨機構
- ねじ状砥石による歯車の研削加工(第6報) -はすば歯車の歯面研削過程に及ぼすねじれ角の影響-
- ファインセラミックスの研削仕上面状態に及ぼす加工条件の影響(第1報) : SiC, Si_3N_4 および Al_2O_3 の仕上面の生成機構
- ねじ状砥石による平歯車の全歯丈切込みの歯切り加工機構
- ねじ状砥石による歯車の歯面研削加工に関する研究-2-砥石損耗に及ぼす研削条件の影響
- ねじ状砥石による歯車の歯面研削加工に関する研究-1-はすば歯車の研削機構
- 低砥石速度による研削法に関する研究(第2報) : クリープフィード研削における砥石摩耗
- 低砥石速度による研削法に関する研究(第1報) : クリープフィード研削における研削焼け発生条件
- 電解研削に関する研究(第2報) : 適正加工条件の選定
- 矩形ガラス材の高平坦化研磨加工(第1報) : 直線揺動法による矩形平面の創成シミュレーション
- 小形工具による大口径ウエハの形状修正研磨 : 第2報 : ポリシャ平坦度の加工精度への影響とポリシャ劣化の抑制
- CNC研削盤の円運動を利用した研削砥石のR成形法に関する研究 : R成形のシミュレーション
- CNC研削盤の円運動を利用した研削砥石のR成形法に関する研究 -R成形のシミュレーション
- 矩形ガラス材の高平坦化研磨加工(第2報) : 研削による中心軸対称形状創成と研磨シミュレーションにおける工具傾斜補正
- 無変形冷凍ピンチャックの開発(第1報)冷凍液特性に基づく冷凍ピンチャックの設計
- 小径工具を用いた揺動研磨におけるスラリ流量の低減
- 修正研磨による大口径ウエハの高平坦化(第1報) : ウエハとポリシャ間の圧力分布と接触状態
- 揺動速度制御による石英ウエハの高平坦化研磨
- ブラスト加工によるポーラス材上へのピン形成
- 高さ調節可能なリテーナ機構を用いた新揺動研磨法
- 小形工具による揺動速度制御研磨加工(第3報) : はみ出し加工時における圧力分布と形状
- 静圧シール型真空ピンチャックの開発
- 小形工具による大口径ウエハの形状修正研磨第1報 : シミュレーションによる最適研磨条件の検討
- 真空ピンチャックによる凹凸ウエハの矯正能力(第4報) : 8インチチャックの周辺矯正能力
- 研磨による大口径ウエハの形状修正(第2報) : ポリシャ形状の影響
- CMPポリシャのドレッシング(第1報) : ポリシャ表面状態に及ぼすドレッシング条件の影響
- 揺動速度制御による超高精度形状修正研磨技術の開発 (特別企画 超平坦・超平滑加工実現へのブレークスルーは何か?)
- 小形工具による揺動速度制御研磨加工(第2報) : 高速・はみ出し加工時における形状
- 揺動速度制御型連続研削・研磨装置の開発(第1報) : 装置構造と基本研磨特性
- 小形工具による揺動速度制御研磨加工(第1報) : 直線揺動法による形状生成過程の理論解析
- 粘弾性ポリシャによるポリシング過程のシミュレーション(第5報) : ポリシャ特性への負荷条件の影響
- 枚葉式装置における揺動研磨(第一報) : 高速研磨時の加工形状
- 小径ねじ状砥石によるはすば歯車の歯面研削 (機械工学科)
- 粘弾性ポリシャによるポリシング過程のシミュレーション(第3報) -揺動制御による加工量分布の均一化-
- 粘弾性ポリシャによるポリシング過程のシミュレーション(第2報) -粘弾性ポリシャの特性-
- 粘弾性ポリシャによるポリシング過程のシミュレーション(第1報) -ポリシャの時間的特性変化に伴う平面度への影響-
- 無変形冷凍ピンチャックの開発(第2報)ピン上への冷凍液塗布法と塗布特性
- 超精密ラッピング・ポリシング
- 1602 ピンチャックの加工段差によるウエハ平坦度への影響(OS16.シリコン強度とシミュレーション,オーガナイズドセッション)
- 枚葉式装置における揺動研磨(第4報):等速揺動研磨時の加工形状
- 「揺動研磨の研究」のこぼれ話
- 1601 半導体用シリコン・ウェーハの力学的課題(基調講演,OS16.シリコン強度とシミュレーション,オーガナイズドセッション)
- 真空ピンチャックの開発 (機械工学科)
- 真空ピンチャックによる平面矯正 -裏面あらさの表面平坦度への影響の低減-
- 真空ピンチャックによる平面矯正(第3報) -裏面あらさのウエハ平坦度への影響-
- 現場で使える研磨加工の理論と計算手法
- 現場で使える研磨加工の理論と計算手法
- 真空ピンチャックによる凹凸ウエハの矯正能力 : (第3報)周辺矯正能力
- 揺動速度制御型連続研削・研磨装置の開発(第3報) : 揺動時加工形状特性
- 揺動速度制御型連続研削・研磨装置の開発(第2報) : 基本特性
- 揺動速度制御型連続研削・研磨装置の開発(第1報)-開発指針と装置構造および性能-
- エアパルス式ディスペンサを用いた描画システムによる微細パターン形成
- 真空ピンチャックによる凹凸ウエハの矯正能力(第一報) : 理論解析
- シリコンウェハの平面矯正(第1報)-ピンチャックのウェハ周辺矯正能力-
- 真空ピンチャックによる平面矯正(第5報) -ピン先端とウエハ裏面の接触状態-
- 現場で使える研磨加工の理論と計算手法
- 現場で使える研磨加工の理論と計算手法
- 現場で使える研磨加工の理論と計算手法
- 現場で使える研磨加工の理論と計算手法
- 無変形冷凍ピンチャックの開発 (第2報)
- 無変形冷凍ピンチャックの開発 (第3報)
- エアパルス式ディスペンサを用いた描画システムによる微細パターン形成
- 研磨による大口径ウエハの形状修正(第1報):有限要素法による研磨圧力の解析
- 粘弾性ポリシャによるポリシング過程のシミュレーション(6報) : 格子溝ポリシャの変形特性
- 枚様式装置における揺動研磨(第3報) : 工具はみ出し時における圧力分布の解析
- 粘弾性ポリシャによるポリシング過程のシミュレーション(第4報)ポリシャ特性への表面状態の影響
- 現場で使える研磨加工の理論と計算手法
- 現場で使える研磨加工の理論と計算手法
- 現場で使える研磨加工の理論と計算手法
- 現場で使える研磨加工の理論と計算手法
- 現場で使える研磨加工の理論と計算手法
- 現場で使える研磨加工の理論と計算手法