矩形ガラス材の高平坦化研磨加工(第1報) : 直線揺動法による矩形平面の創成シミュレーション
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概要
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矩形ガラス材を高平坦に研磨するために,揺動砥磨理論を導出し,研磨過程を解析するためのシミュレーションプログラムを開発した.正方形試料に対して揺動速度を最適化したさいの研磨形状を計算し,円形工具では不可能であった試料の角部の平坦度を,環状工具を用いることによって改善できることを明らかにした.さらに,試料に対する工具の回転速度を5倍以上にすることにより平面精度を±10%にできることを示した.
- 2007-12-05
著者
-
宇根 篤暢
防衛大学校 機械工学科
-
餅田 正秋
防衛大学校 機械工学科
-
吉冨 健一郎
防衛大学校 機械工学科
-
餅田 正秋
防衛大
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宇根 篤暢
防衛大学校
-
宇根 篤暢
防衛大
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餅田 正秋
防衛大学校
-
吉冨 健一郎
防衛大学校
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