真空ピンチャックによる平面矯正 -裏面あらさの表面平坦度への影響の低減-
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概要
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- 1998-03-05
著者
-
松井 伸介
NTT境界領域研究所
-
宇根 篤暢
防衛大学校 機械工学科
-
餅田 正秋
防衛大学校 機械工学科
-
津島 佳男
防衛大学校
-
餅田 正秋
防衛大
-
石川 良征
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
松井 伸介
Ntt フォトニクス研
-
松井 伸介
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
石川 良征
NTT 光エレクトロニクス研究所
-
宇根 篤暢
防衛大学校
-
餅田 正秋
防衛大学校
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