真空ピンチャックによる平面矯正(第2報) -ピン支持研磨によるディンプルの発生-
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概要
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- 1997-03-01
著者
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大平 文和
日本電信電話(株)通信エネルギー研究所
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大平 文和
Ntt光エレクトロニクス研究所
-
松井 伸介
NTT境界領域研究所
-
松井 伸介
NTT光エレクトロニクス研究所
-
小藪 国夫
NTT光エレクトロニクス研究所
-
石川 良征
NTT光エレクトロニクス研究所
-
宇根 篤暢
NTTシステムエレクトロニクス研究所
-
清水 彰
NTTシステムエレクトロニクス研究所
-
石川 良征
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
小藪 国夫
日本電信電話(株)通信エネルギー研究所
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