C-3-139 Si トレンチ・断熱溝構造を用いた低消費電力石英系熱光学スイッチ : 消費電力と応答速度の構造依存性
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-03-08
著者
-
柳澤 雅弘
NTTエレクトロニクス株式会社
-
郷 隆司
NTT光エレクトロニクス研究所
-
安 光保
NTTエレクトロニクス
-
杉田 彰夫
NTT光エレクトロニクス研究所
-
松井 伸介
日本電信電話株式会社nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
柳澤 雅弘
NTT光エレクトロニクス研究所
-
柳澤 雅弘
日本電信電話株式会社 Nttフォトニクス研究所
-
杉田 彰夫
Nttフォトニクス研究所
-
姫野 明
NTT光エレクトロニクス研究所
-
安 光保
NTT光エレクトロニクス研究所
-
松井 伸介
NTT光エレクトロニクス研究所
-
郷 隆司
Ntt フォトニクス研
-
笠原 亮一
NTT光エレクトロニクス研究所
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