SiO_2/Siハイブリッド光集積プラットフォームにおけるコプレーナ線路の特性
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概要
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光ハイブリッド集積技術は、光インターコネクション、光信号処理を実現するための有効な手段である。そのためには、従来の低損失光導波路機能・光素子搭載機能に加えて、高周波電気配線機能が求められる。我々は既に埋め込み型石英系光導波路とテラス構造付きSi基板とを組み合わせたSiO_2/Siハイブリッド光集積プラットフォームを提案し、Siテラスを位置決め基準面として用いてLD素子を搭載した。今回、このプラットフォーム上にコプレーナ(CPW)線路を形成しその特性を調べたので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
-
吉野 薫
Ntt光エレクトロニクス研究所
-
森脇 和幸
NTT光エレ研
-
山田 泰文
NTT光エレクトロニクス研究所
-
安 光保
NTTエレクトロニクス
-
美野 真司
Ntt光エレクトロニクス研究所
-
安 光保
NTT光エレクトロニクス研究所
-
山田 泰久
Ntt光エレクトロニクス研究所
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