モードフィールド変換付き高△石英系導波路をプラットフォームとして用いたハイブリット集積LDモジュール
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概要
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我々はこれまで石英系導波路をプラットフォームとして用いLD等半導体光素子のハイブリッド集積を検討しているが、両者のモードフィールド不整合による大きな接続損失が問題となっている。これに対する解決策としては、お互いのモードフィールドを合わせることが考えられ、現在半導体光素子側としてスポット拡大部付きのLDが活発に検討されている。一方、導波路側からのアプローチとしては、以前我々は、プラットフォームとして半導体光素子との整合性の良い高△導波路を用い、且つ、端面局所加熱によるモードフィールド変換技術を適用して光ファイバ接続損失を低減する方法を提案したが、今回この方法によりLDモジュールの作製を行ったので報告する。
- 1995-03-27
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