PLC集積型マイクロミラーアレイ作製技術とスタック型インラインモニタへの応用(フォトニックNWシステム・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,及び一般)
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概要
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光通信技術の発展に伴い、合分波やスイッチング、光レベル調整、モニタリング等の光機能を複合化した集積光部品へのニーズが高まっている。石英系プレーナ光波回路(PLC)は低損失、高信頼性、高い設計自由度といった優れた特徴を有し、複合機能集積のプラットフォームとして有望である。複合機能集積PLCにおいては、フォトダイオード(PD)等の異種材料部品との集積が課題となる。本稿では、PLC集積型垂直光路変換マイクロミラーの作製技術と、これを用いたモニタPD集積技術につき紹介する。
- 2009-01-22
著者
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山崎 裕史
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
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山崎 裕史
NTTフォトニクス研究所
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金子 明正
NTTフォトニクス研究所
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金子 明正
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
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小川 育生
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
-
柳澤 雅弘
NTTエレクトロニクス株式会社
-
渡邉 啓
日本電信電話株式会社NTTフォトニクス研究所
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山崎 裕史
日本電信電話株式会社 Nttサイバーソリューション研究所
-
渡邊 啓
日本電信電話株式会社フォトニクス研究所
-
柳澤 雅弘
日本電信電話株式会社 Nttフォトニクス研究所
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小川 育生
NTTワイヤレスシステム研究所
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小川 育夫
NTT光エレクトロニクス研究所
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柳澤 雅弘
Nttエレクトロニクス
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渡辺 啓
住友ベークライト
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山崎 裕史
日本電信電話(株)NTTフォトニクス研究所
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小川 育生
日本電信電話株式会社NTrフォトニクス研究所
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