低コスト光モジュールに適した新型PLCプラットフォームの提案
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概要
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我々は, これまでハイブリッド光モジュール用プラットフォームとして, 石英系PLCとテラス付きSi基板を組み合わせたPLCプラットフォームの開発を進め, ONU用光モジュール等の作製を行ってきた。ここで, このPLCプラットフォームにおいては, 光素子搭載時の高さ方向の光軸調整として, 基板平坦化研磨により形成したSiテラス表面をアライメント用基準面として用いて高精度な光軸調整を実現している。反面, この構造を作製するためには基板研磨を始めとして複雑な工程が必要となり, 光モジュールの一層の低コスト化を図って行く上での課題となっている。今回, 従来のプラットフォームと比較して大幅な作製工程の簡略化が可能な新しいPLCプラットフォームを考案し, 特性評価を行ったので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-06
著者
-
柳澤 雅弘
NTTエレクトロニクス株式会社
-
森脇 和幸
NTT光エレ研
-
井上 靖之
NTT光エレクトロニクス研究所
-
山田 泰文
NTT光エレクトロニクス研究所
-
安 光保
NTTエレクトロニクス
-
日比野 善典
NTT光エレクトロニクス研究所
-
橋本 俊和
NTT光エレクトロニクス研究所
-
柳澤 雅弘
NTT光エレクトロニクス研究所
-
柳澤 雅弘
日本電信電話株式会社 Nttフォトニクス研究所
-
首藤 啓三
Ntt光エレクトロニクス研究所
-
安 光保
NTT光エレクトロニクス研究所
-
山田 泰久
Ntt光エレクトロニクス研究所
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